HM_Series_Administrator′s_Guide(Chi_Ver2.5)校正.pdf.pdf - 第507页

12-139 校正 12.1.11.1. Feeder Base Position Calibration 安装 Docking C art 馈送器基座 时, 将出现下图所示的 Offset 。 对馈送器进行原点 Te a c h i n g , 以便安装在馈送器基座 上的 Fe eder 吸附位置 能够成为 Zero Position 。

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Cutting-edge Modular Mounter HM Series Administrator's Guide
12.1.11. 个别单位校准
能够实行的校准项会随着适用于设备的选项及安装的装置而不同。
各个单元的校准项目如下。
备注 晶圆装置 相关的功能仅适用HM520h
Calibration High Speed Multi Functional
Feeder Base Position ΟΟ
Tray Position ΟΟ
Wafer Unit Origin Position Ο X
Wafer Unit Position Mapping Ο X
Wafer Unit Fid Distortion Mapping Ο X
Wafer Unit Pin Z Pos Teach Ο X
User Dump Position ΟΟ
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校正
12.1.11.1. Feeder Base Position Calibration
安装Docking Cart馈送器基座时,将出现下图所示的Offset
对馈送器进行原点Teaching以便安装在馈送器基座上的Feeder吸附位置能够成为
Zero Position
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Cutting-edge Modular Mounter HM Series Administrator's Guide
校准供料器底座的原点的方法如下
1. 选择<Auto>复选框后,按下< 自动校准>按钮。
2. 自动对已选的Station Docking Cart上两个基准符号进行识别,并对XY进行校
准。