RX-6_维修调整要领书.pdf - 第213页
维修调整要领书 12 - 60 12 -12-5 更换过滤器 滤芯 1) 请关闭手动阀 的旋钮。 2) 按住把手部分 ，向左右任意 方向旋转 45 度拔出。 3) 将固定过滤 器滤芯 B 的树脂配件向左旋转 ，拆下过滤器滤芯 B ，将 过滤器滤芯 A 本身 向左旋 转 拆下 过滤器滤芯 A 。 4) 安装时，请 按照逆向 步骤进行 操作 。 过滤器滤芯 A PX5000630A0 过滤器滤芯 B PX500064000 树脂部分 把手部…
维修调整要领书
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COPLA CPU BACK BOARD [OP] (40132990)
【功能】
此基板功能是向 COPLA CPU BOARD 提供电源的 BACK BOARD(仅供电)。安装有 CompactPCI 用的连接器，
向 COPLA CPU BOARD 提供+5V。此+5V 源于电气装置单元旁边的电源，供应到本基板。此外，基板对向
共面传感器单元输入所必须的 X 轴编码器信号，具有从前、后侧中二者择一的功能。为了对共面传感
器单元控制激光电源的 ON/OFF，连接了 SAFETY 基板，为了进行上述编码器信号的前后切换以及元件
开始测量的信号，连接了 IPX-11 基板。
【更换时】
没有需要设定的地方。
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COPLA MONITOR SWITCH BOARD [OP] (40097434)
【功能】
此基板的功能是对从 COPLA CPU BOARD 的 DVI 的输入及从主机 CPU BOARD 的 DVI 的输入进行切换，确
定将哪个信号显示到监视器上。此基板位于 X 驱动器单元的侧面。通常使用时的显示切换，是根据经
由 RS232C 收到的命令自动进行的。
【更换时】
请参照下图确认 SW3 的设定为[CH1 选择(主机 CPU)]。如果 SW 误设定为[CH3 选择(COPLA CPU)]，起动
时 COPLA CPU BOARD 一侧就会显示。
SW3
[CH1選択(本体CPU)]
基板
SW3
基板
[CH3選択(COPLA CPU)]
[选择 CH1(主机 CPU)] [选择 CH3(COPLA CPU)]
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更换过滤器滤芯
1) 请关闭手动阀的旋钮。
2) 按住把手部分，向左右任意方向旋转 45 度拔出。
3) 将固定过滤器滤芯 B 的树脂配件向左旋转，拆下过滤器滤芯 B，将过滤器滤芯 A 本身向左旋转拆下
过滤器滤芯 A。
4) 安装时，请按照逆向步骤进行操作。
过滤器滤芯 A
PX5000630A0
过滤器滤芯 B
PX500064000
树脂部分
把手部分
打开状态 关闭状态
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更换真空泵配件
由于以下配件损耗导致压力降低时，要考虑更换。
<损耗配件列表>
更换配件套装品号：4O138O45
检查位置 使用数量 检查内容 检查方法
碗型垫圈 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目视
气缸垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目视
吸排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目视
Head 垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目视
●真空泵的更换准备
1) 按照前项的「切带机单元的更换」， 拆 下 切带机单元。
2) 请确认真空泵没有在运转。（由于运转后泵内部很热，请在停止后放置约 3O 分，确认泵冷却
后再进行操作）
3) 请拆下机器主机后侧、中央下部的护罩。
4) 请拔下护罩内侧的风扇插头。
护罩
（螺丝×7）
风扇
风扇