RX-6_维修调整要领书.pdf - 第73页
维修调整要领书 3-2 3-1-2 过滤器的更换 ・ 贴装头过滤器的更换 1） 按照 3-1-1 的 1）操作顺序卸下贴装头支架 U 形罩。 2） 先拆卸① cap（×2）和②带垫片内六角螺栓（×2），再拆卸过滤器箱 U。 （过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。） 3） 取出过滤器并进行更换。 4） 装配请按相反的步骤进行。 5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。 3-1-3 大气开放用过滤器…
维修调整要领书
3-1
3
贴装头周边部件
3-1
电磁阀零件的更换
降低主体的原压力，进行更换。
3-1-1
电磁阀的更换
1） 拆下①圆头螺丝 M4（×4），拆下贴装
头支架 U 形罩。
2） 松开②带垫片螺丝（×4）的下侧 2 个，拆下上侧 2 个和线束、
空气管子，连同电磁阀托架一起拆下。
3） 先拆卸④盆头螺钉（×2），再拆卸各电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈）
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
※ ④盆头螺钉（2 个）和密封垫圈（1 个）是各电磁阀的附属品。
①圆头螺丝 M4（×4）
贴装头支架 U 形罩
图 3-1-1-1 护罩的拆卸
图 3-1-1-3 电磁阀的拆卸
紧固扭矩：
0.12±0.02N·m
④盆头螺钉（×2）
真空破坏用的电磁阀
真空发生用的电磁阀
图 3-1-1-2 电磁阀托架的拆卸
②带垫片螺丝（×4）
电磁阀托架
维修调整要领书
3-2
3-1-2 过滤器的更换
・贴装头过滤器的更换
1） 按照 3-1-1 的 1）操作顺序卸下贴装头支架 U 形罩。
2） 先拆卸① cap（×2）和②带垫片内六角螺栓（×2），再拆卸过滤器箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
3） 取出过滤器并进行更换。
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
3-1-3 大气开放用过滤器的更换
1） 依照 3-1-1 的操作顺序 1）、2），把电磁阀连同电磁阀托架一起卸下。
2） 拧松③带垫片内六角螺栓（×2），然后拆卸大气开放用过滤器。
（只要拧松带垫片内六角螺栓就可以拆下过滤器）
3） 装配请按相反的步骤进行。
③带垫片内六角螺栓（×2）
大气开放用过滤器
岐管上面
过滤器压紧螺丝
过滤器
①cap（×2）
贴装头过滤器
②带垫片内
六角螺栓
（×2）
维修调整要领书
3-3
3-2
HMS的更换
3-2-1
HMS头部的更换
请拆下 cap（×2），卸下 HMS 传感器感应头。
3-2-2
HMS高度调整
（参照 QA 表，HMS-1：HMS 高度）
调整后，请输入 MS 参数，传感器高度
HMS 传感器偏差值。
输入请参照 MS 参数。
注意
为了防止对人体造成伤害，贴装头操作时，请勿将手伸进机器
内，也不要将脸和头部靠近机器。
②cap（×2）
HMS 传感器感应头