RX-6_维修调整要领书.pdf - 第74页
维修调整要领书 3-3 3- 2 HMS 的更换 3-2 - 1 HMS 头部的更换 请拆下 cap （× 2 ），卸下 HMS 传感器感应头。 3-2 - 2 HMS 高度调整 （参照 QA 表， HMS-1 ： HMS 高度） 调整后，请输入 MS 参数，传感器高度 HMS 传感器偏差值。 输入请参照 MS 参数。 注意 为了防止对人体造成伤害， 贴装头操作时， 请勿将手伸进机器 内，也不要将脸和头部靠近机器。 ② cap （× 2…
维修调整要领书
3-2
3-1-2 过滤器的更换
・贴装头过滤器的更换
1） 按照 3-1-1 的 1）操作顺序卸下贴装头支架 U 形罩。
2） 先拆卸① cap（×2）和②带垫片内六角螺栓（×2），再拆卸过滤器箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
3） 取出过滤器并进行更换。
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
3-1-3 大气开放用过滤器的更换
1） 依照 3-1-1 的操作顺序 1）、2），把电磁阀连同电磁阀托架一起卸下。
2） 拧松③带垫片内六角螺栓（×2），然后拆卸大气开放用过滤器。
（只要拧松带垫片内六角螺栓就可以拆下过滤器）
3） 装配请按相反的步骤进行。
③带垫片内六角螺栓（×2）
大气开放用过滤器
岐管上面
过滤器压紧螺丝
过滤器
①cap（×2）
贴装头过滤器
②带垫片内
六角螺栓
（×2）
维修调整要领书
3-3
3-2
HMS的更换
3-2-1
HMS头部的更换
请拆下 cap（×2），卸下 HMS 传感器感应头。
3-2-2
HMS高度调整
（参照 QA 表，HMS-1：HMS 高度）
调整后，请输入 MS 参数，传感器高度
HMS 传感器偏差值。
输入请参照 MS 参数。
注意
为了防止对人体造成伤害，贴装头操作时，请勿将手伸进机器
内，也不要将脸和头部靠近机器。
②cap（×2）
HMS 传感器感应头
维修调整要领书
3-4
3-3
贴装头基板的更换
3-3-1
贴装头主基板的更换
1） 先拆下 SM3041052TN，再拆卸主保护罩。
2） 先拆下各种插头，然后拆下 SL60340306381SC 后拆贴装头主基板。
3） 装配请按相反的步骤进行。
注） 更换贴装头主基板后，请进行真空度的调整。
（参照 QA 表：EL-10 贴装头真空度）
图 3-3-1-1 贴装头主基板的更换
SM3041052TN (×5)
SL4030681SC (×4)
贴装头主基板组件
贴装头主保护罩