RX-6_维修调整要领书.pdf - 第76页
维修调整要领书 3-5 3-3 - 2 伺服放大器基板的更换 1 ） 拆下 SM3040652TN ，卸下驱动器箱的正面护罩和底盖。 2 ） 先拆下各种插头，然后拆下 SM3040652TN 后拆贴装头继电器基板组件。 3 ） 拆下 SL4040891SC 后依次拆下驱动器基板。 4 ） 装配请按相反的步骤进行。 注） 更换伺服放大器基板后，请进行微调电容器的设置。 （参照 QA 表： EL -2 Z ／θ 轴伺服放大器的轴设置） 驱动…
维修调整要领书
3-4
3-3
贴装头基板的更换
3-3-1
贴装头主基板的更换
1） 先拆下 SM3041052TN，再拆卸主保护罩。
2） 先拆下各种插头，然后拆下 SL60340306381SC 后拆贴装头主基板。
3） 装配请按相反的步骤进行。
注） 更换贴装头主基板后，请进行真空度的调整。
（参照 QA 表：EL-10 贴装头真空度）
图 3-3-1-1 贴装头主基板的更换
SM3041052TN (×5)
SL4030681SC (×4)
贴装头主基板组件
贴装头主保护罩
维修调整要领书
3-5
3-3-2
伺服放大器基板的更换
1） 拆下 SM3040652TN，卸下驱动器箱的正面护罩和底盖。
2） 先拆下各种插头，然后拆下 SM3040652TN 后拆贴装头继电器基板组件。
3） 拆下 SL4040891SC 后依次拆下驱动器基板。
4） 装配请按相反的步骤进行。
注） 更换伺服放大器基板后，请进行微调电容器的设置。
（参照 QA 表：EL-2 Z／θ 轴伺服放大器的轴设置）
驱动器电路板 （×4）
（以 SL4040891SC 固定）
贴装头继电器电路板组件
拆下贴装头继电器电路板组件后，
请拆下驱动器电路板
驱动器箱
底盖
SM3040652TN (×14)
驱动器箱
正面护罩
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4-1
危险
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
4
OCC组装
4-1
OCC装配件更换
1） 请取下①及③带垫片内六角螺钉（3 个），卸下镜头组件。
2） 照明组件被②带垫片内六角螺钉（2 个）所固定。
拆掉各个连接器，取下各自的安装螺钉，进行更换。
3) 安装时，请按照相反的顺序进行操作。
（请在①②③带垫片内六角螺钉上涂上粘结剂 LOCTITE243）
4） 更换镜头组件后，请进行焦点调整、MS 参数输入。
更换照明组件后，请进行 OCC 照明的调整。（参照 4-7 项 更换 OCC 部分后的从新调整项目一览）
图 4-1-1 OCC 组装
HEAD_PLATE
①带垫片内六角螺钉
（×2）
②带垫片内六角螺钉（×2）
（仅在卸下照明组件时）
照明组件
镜头组件
③带垫片内六角螺钉
（仅在卸下照明组件时）
后侧