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维修调整要领书 12 - 68 真空泵分解图 No. 名称 No. 名称 1 六角凹头螺 栓（ M6×95 ） 8 根 1O 气缸垫圈 2 泵头盖 1 11 气缸 3 连接管 12 六角凹 头螺栓（ M8× 2O ） 4 Ｏ环 P-1O 13 碗型垫圈挡 5 泵头盖 2 14 碗型垫圈 6 垫圈 15 连杆 7 阀挡 8 吸排气阀 9 气缸板
维修调整要领书
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●更换碗型垫圈
1） 拆下气缸。
2） 拆下六角凹头螺栓 (M8×2O)。
3） 拆下碗型垫圈密封盖，更换新的碗型垫圈。
请注意碗型垫圈的方向。要嵌入连杆内。
4） 更换后，请以 12.ON・m 的力量拧紧六角凹头螺栓 (M8×2O)。
※盖子的安装，请按照更换垫圈的步骤实施。要更换其他损耗配件时，不要关闭盖子，请参考各部
位的更换工程项目
碗型垫圈密封盖
六角凹头螺栓(M8×20)
碗型垫圈
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真空泵分解图
No. 名称 No. 名称
1 六角凹头螺栓（M6×95）8 根 1O 气缸垫圈
2 泵头盖 1 11 气缸
3 连接管 12 六角凹头螺栓（M8×2O）
4 Ｏ环 P-1O 13 碗型垫圈挡
5 泵头盖 2 14 碗型垫圈
6 垫圈 15 连杆
7 阀挡
8 吸排气阀
9 气缸板
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双轨传送单元
12-13-1
双轨传送单元的构成
传送单元的构成图如图 12-13-1-1 所示。
图 12-13-1-1
R 侧
L 侧