RX-6_维修调整要领书.pdf - 第75页
维修调整要领书 3-4 3- 3 贴装头基板的更换 3-3 - 1 贴装头主基板的更换 1 ） 先拆下 SM3041052TN ，再拆卸主保护罩。 2 ） 先拆下各种插头，然后拆下 SL60340306381SC 后拆贴装头主基板。 3 ） 装配请按相反的步骤进行。 注） 更换贴装头主基板后，请进行真空度的调整。 （参照 QA 表： EL - 10 贴装头真空度） 图 3-3 -1- 1 贴装头主基板的更换 SM3041052TN ( …
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3-3
3-2
HMS的更换
3-2-1
HMS头部的更换
请拆下 cap（×2），卸下 HMS 传感器感应头。
3-2-2
HMS高度调整
（参照 QA 表，HMS-1：HMS 高度）
调整后，请输入 MS 参数，传感器高度
HMS 传感器偏差值。
输入请参照 MS 参数。
注意
为了防止对人体造成伤害，贴装头操作时，请勿将手伸进机器
内，也不要将脸和头部靠近机器。
②cap（×2）
HMS 传感器感应头
维修调整要领书
3-4
3-3
贴装头基板的更换
3-3-1
贴装头主基板的更换
1） 先拆下 SM3041052TN，再拆卸主保护罩。
2） 先拆下各种插头，然后拆下 SL60340306381SC 后拆贴装头主基板。
3） 装配请按相反的步骤进行。
注） 更换贴装头主基板后，请进行真空度的调整。
（参照 QA 表：EL-10 贴装头真空度）
图 3-3-1-1 贴装头主基板的更换
SM3041052TN (×5)
SL4030681SC (×4)
贴装头主基板组件
贴装头主保护罩
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3-5
3-3-2
伺服放大器基板的更换
1） 拆下 SM3040652TN，卸下驱动器箱的正面护罩和底盖。
2） 先拆下各种插头，然后拆下 SM3040652TN 后拆贴装头继电器基板组件。
3） 拆下 SL4040891SC 后依次拆下驱动器基板。
4） 装配请按相反的步骤进行。
注） 更换伺服放大器基板后，请进行微调电容器的设置。
（参照 QA 表：EL-2 Z／θ 轴伺服放大器的轴设置）
驱动器电路板 （×4）
（以 SL4040891SC 固定）
贴装头继电器电路板组件
拆下贴装头继电器电路板组件后，
请拆下驱动器电路板
驱动器箱
底盖
SM3040652TN (×14)
驱动器箱
正面护罩