YAMAHA 报警资料.pdf - 第84页
Comparison Table ( English - Chinese ) VGOS V2.46STD R1.000 84 / 237 Copyright (C) 2009 Y amaha Motor Co., Ltd. All Rights Reserved. Code Code Code Code Englis h Englis h Englis h Englis h Chinese Chinese Chinese Chinese…
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 83 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
1.The pallet is not fixed.
2.An unknown pallet type is detected.
3.The pallet type detected by sensor is different
from it of component data. (Wafer Ring Diameter)
·料架没有固定
·感器不能辨料架的
·安装的是与元件数据不同的料架
(元件数据的晶片内径与从料架辨感器
得到的准晶片内径的差在 15mm 以上)
Ea03570 WAFER TRAY CHANGER ERROR
No mark data for wafer alignment recognition
due to system error.
Please contact the agent..
晶片托交器
因系，不能取得位置校正用数据。
与售商。
Ea03571 WAFER TRAY CHANGER ERROR
No correction data for wafer alignment
due to system error.
Please contact the agent..
晶片托交器
因系，不能取得位置校正用果数据。
与售商。
Ea03572 WAFER TRAY CHANGER ERROR
Failed to adjust the correction value
for FINE mode within limit.
晶片托交器
位置校正的 FINE 型中，
校正不能收束到定以内。
Ea03573 WAFER TRAY CHANGER ERROR
"Wafer alignment" action was aborted due to
emergency stop or other error.
晶片托交器
由急停机等，中止了晶片位置校正作。
Ea03574 WAFER TRAY CHANGER ERROR
There is no wafer ejector to handle this component.
晶片托交器
不能找到能推起元件的推器。
Ea03575 WAFER TRAY CHANGER ERROR
Failed to recognize the alignment mark.
晶片托交器
位置校正的失了。
Ea03576 WAFER TRAY CHANGER ERROR
Wafer LH axis can not move
because the wafer LZ axis is in illegal position.
Please contact the agent..
晶片托交器
因 LZ 不在安装位置上，所以不能移 WaferLH 。
向售店咨。
Ea03577 The cycle stop was not started.
Please press the button again.
未能始周期停止。
重新按一次按。
Ea03578 WAFER TRAY CHANGER ERROR
Hook arm open/clese is time-out.
Check the "WF.TRAY HOOK ARM OPEN/CLOSE" sensor.
晶片托交器
抓手臂超。
确晶片托的抓手臂感器。
Ea03579 WAFER TRAY CHANGER ERROR
Failed to start searching origin
because a pallet is detected
at the halfway position.
Check the pallet sensor "WF.TRAY STAGE CENTER PALLET 2".
晶片托交器
始返回原点的作失了。
在中途位置出了料架。
确料架台中央料架 2 感器的状。
Ea03580 WAFER TRAY CHANGER ERROR
Failed to start searching origin
because a pallet is detected
at the halfway position.
Check the pallet sensor "WF.TRAY PALLET ENTRANCE".
晶片托交器
始返回原点的作失了。
在中途位置出了料架。
确晶片托的料架中感器的状。
Ea03581 WAFER TRAY CHANGER ERROR
Failed to start searching origin
because the pallet clamp are fix.
Check the pallet clamp sensor "WF.TRAY PALLET CLAMP BACKWORD".
晶片托交器
始返回原点的作失了。
料架固定于固定状。
确料架固定感器的状。
Ea03582 WAFER TRAY CHANGER ERROR
Pallet clamp open/clese is time-out.
Check the pallet clamp sensor "WF.TRAY PALLET CLAMP BACKWORD".
晶片托交器
料架固定/超。
确料架固定感器的状。
Ea03583 WAFER THERMAL MACS-XY ERROR
Failed to detect Wafer Thermal MACS.
Does the MACS look dirty?
or check mark data in mark database.
晶片校正 MACS(XY)
晶片校正 MACS 的失了。
晶片校正 MACS 是否?
参照的数据是否了?
Ea03584 WAFER THERMAL MACS-LCXY ERROR
Failed to detect Wafer Thermal MACS.
Does the MACS look dirty?
or check mark data in mark database.
晶片校正 MACS(LCXY)
晶片校正 MACS 的失了。
晶片校正 MACS 是否?
参照的数据是否了?
Ea03585 WAFER THERMAL MACS-XY ERROR
Failed to detect Wafer Thermal MACS.
Does the MACS look dirty?
or check mark data in mark database 921.
WAFER THERMAL MACS-XY ERROR___
Failed to detect Wafer Thermal MACS.
Does the MACS look dirty?
or check mark data in mark database 921.
Ea03586 WAFER THERMAL MACS-LT ERROR
Failed to detect Wafer Thermal MACS.
Does the MACS look dirty?
or check mark data in mark database 922.
WAFER THERMAL MACS-LT ERROR___
Failed to detect Wafer Thermal MACS.
Does the MACS look dirty?
or check mark data in mark database 922.
Ea03601 BOARD DATA ERROR
The "FeederType Wafer" can not be used
for component data V20 compatible mode.
Machine
Component data Name
基板程序
在元件数据 V20 兼容模式下，送料器型不能使用晶片。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03602 BOARD DATA ERROR
No mark is specified for the "Mark for Comp" field
基板程序
晶片元件外形用号没有置。
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 84 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
of the wafer component.
Machine
Component data Name
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03603 BOARD DATA ERROR
No mark data exists for the "Mark for Comp"
of the wafer component.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件外形用数据不存在。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03604 BOARD DATA ERROR
The "MarkType" is not suitable for the "Mark for Comp"
of the wafer component.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件外形用数据的不正确。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03605 BOARD DATA ERROR
The "SearchArea" is larger than F.O.V. of the camera
for the "Mark for Comp" of the wafer component.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件外形用的搜索区域
与相机野相比大。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03606 BOARD DATA ERROR
No mark data exists for the "Mark for Bad"
of the wafer component.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件坏板用数据不存在。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03607 BOARD DATA ERROR
The "MarkType" is not suitable for the "Mark for Bad"
of the wafer component.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片坏板用数据的不正确。
机器名
元件数据 号 名称
Ea03608 BOARD DATA ERROR
The "SearchArea" is larger than F.O.V. of the camera
for the "Mark for Bad" of the wafer component.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件坏板用的搜索区域
与相机野相比大。
机器名
元件数据 号 名称
Ea03609 BOARD DATA ERROR
The relation between "InitSearchDir" and
"SwitchDirection" is illogical.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件的初始搜索方向
与搜索切方向相矛盾。
机器名
元件数据 号 名称
Ea03610 BOARD DATA ERROR
The relation between "CurSearchDir" and
"SwitchDirection" is illogical.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件的当前搜索方向
与搜索切方向相矛盾。
机器名
元件数据 号 名称
Ea03611 BOARD DATA ERROR
No Wafer-TC head carries the nozzle that can handle
this component.
Machine
Component data Name
基板程序
不存在安装了能吸附晶片元件吸嘴的
托交器 Head。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03612 BOARD DATA ERROR
No Wafer-TC station can handle this component.
Machine
Component data Name
基板程序
不存在能理晶片元件的
托交器的站点。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03613 BOARD DATA ERROR
Illegal pallet number for the wafer component.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件的料架号不正确。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03614 BOARD DATA ERROR
Negative value for the "TapeThickness" is not allowed.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件料的厚度数。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03615 BOARD DATA ERROR
Negative value for the "Search Diameter" is not allowed.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件的晶片搜索直径数。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03616 BOARD DATA ERROR
Negative value for the "RingDiameter" is not allowed.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件的晶片直径数。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03617 BOARD DATA ERROR
"Search Diameter" should be smaller than "RingDiameter".
Machine
基板程序
晶片元件的晶片搜索直径比晶片直径的数大。
机器名称
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 85 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Component data Name 元件数据 号 名称
Ea03618 BOARD DATA ERROR
Negative value for the "CompPitch" is not allowed.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件的距数。
机器名称
数据名称 号 名称
Ea03619 BOARD DATA ERROR
"Start Pos" is out of the "Search Diameter".
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件的搜索始坐，
在晶片搜索直径以外。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03620 BOARD DATA ERROR
"Current Pos" is out of the "Search Diameter".
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件搜索坐，在晶片直径以外。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03621 BOARD DATA ERROR
"Comp Num" is out of the allowed range.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件的元件数不正确。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03622 BOARD DATA ERROR
"Start Count" is out of the allowed range.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件始数不正确。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03623 BOARD DATA ERROR
"Current Count" is out of the allowed range.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件当前数不正确。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03624 BOARD DATA ERROR
The relation between "Start Pos" and "Start Count"
is illogical.
At least one edge will be out of the "Search Diameter".
Machine
Component data Name
"Search Diameter" inputs large value in consideration of
the amount of putting up deviation of wafer from actual diameter.
基板程序
晶片元件搜索始坐和始数的系不正确。
某一端在晶片搜索直径外。
机器名称
元件数据 号 名称
在晶片搜索直径中，因存在晶片粘差，入比
晶片直径大一些的。
Ea03625 BOARD DATA ERROR
The relation between "Current Pos" and "Current Count"
is illogical.
At least one edge will be out of the "Search Diameter".
Machine
Component data Name
"Search Diameter" inputs large value in consideration of
the amount of putting up deviation of wafer from actual diameter.
基板程序
晶片元件搜索当前坐和当前数的系不正确。
某一端在晶片搜索直径外。
机器名称
元件数据 号 名称
在晶片搜索直径中，因存在晶片粘差入比
晶片直径大一些的。
Ea03626 BOARD DATA ERROR
The "Search Diameter" is out of the LXY moving area.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件的晶片搜索直径在 LXY 极限范外。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03627 BOARD DATA ERROR
The "EjectHeight" is out of the LU moving area.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件上推高度在 LU 极限范外。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03628 BOARD DATA ERROR
The "PickHeight" is out of the LP moving area.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件吸附高度在 LP 极限范外。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03629 BOARD DATA ERROR
The "EjectDownTiming" is out of the LP moving area.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件 LU 下降机位置在 LP 极限范外。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03630 BOARD DATA ERROR
The "Wafer Pick Height" is too big.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件吸附高度高，太危。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03631 BOARD DATA ERROR
The "Wafer Place Height" is too big.
Machine
Component data Name
基板程序
晶片元件料高度高，太危。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03632 BOARD DATA ERROR
The "Pick Height" is too big for Flip component.
Machine
Component data Name
基板程序
元件吸附高度 Flip 元件而言高，太危。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03633 BOARD DATA ERROR
The "InitSearchDir" is illogical.
基板程序
晶片元件的初始搜索方向异常。