YAMAHA 报警资料.pdf - 第90页
Comparison Table ( English - Chinese ) VGOS V2.46STD R1.000 90 / 237 Copyright (C) 2009 Y amaha Motor Co., Ltd. All Rights Reserved. Code Code Code Code Englis h Englis h Englis h Englis h Chinese Chinese Chinese Chinese…
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 89 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Ea03688 INTERLOCK ERROR
Pallet clamp can not move open/close
because the LH axis are moving.
因晶片 LH 正在移中，所以料架固定无法/。
Ea03689 INTERLOCK ERROR
Pallet clamp can not move open/close
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
因料架没有位于指定的位置，所以料架固定无法/。
Ea03690 INTERLOCK ERROR
Wafer LCY axis can not move
because the Y-axis position is too near.
Please check the position of Y-axis.
Is there the Y-axis in front of "Safety Pos for Camera"?
因主机的 Y 于靠近，所以晶片相机 LCY 无法移。
确主机的 Y 是否位于相机安全位置的前(机器正面一)。
Ea03691 INTERLOCK ERROR
The Y-axis can not move
because the wafer camera LCY-axis is too near.
Please check the LCY-axis position.
Is there the LCY-axis in back of "LCY Waiting Pos"?
因晶片相机 LCY 的位置于靠近，所以主机的 XY 无法移。
确晶片相机的 LCY 是否位于待机位置。
Ea03692 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the ejector unit is down.
Check the ejector unit sensor.
因推器装置于下降状，所以晶片 LH 无法移。
确推器装置感器的状。
Ea03693 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because Z axis is moving or Z axis position
safety sensor is OFF.
Check Z axis position.
主机 Head 的高度于危位置，所以晶片 LH 无法移。
可能 Z 正在移，或 Z 安全感器于 OFF 状。
将 Head 移至安全高度。
Ea03694 INTERLOCK ERROR
Hook arm can not move open/close
because the pallet clamp are fix.
Check the pallet clamp sensor "WF.TRAY PALLET CLAMP BACKWORD".
因料架于固定状，所以抓手臂无法/。
确料架固定的状。
Ea03695 INTERLOCK ERROR
Hook arm can not move open/close
because the wafer LZ axis are moving.
Check the wafer LZ axis position.
因晶片 LZ 正在移中，所以抓手臂无法/。
Ea03696 INTERLOCK ERROR
Hook arm can not move open/close
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
因料架没有位于指定位置，所以抓手臂无法/。
确料架位置感器的状。
Ea03701 WAFER MAP ERROR
Failed to modify the map file date.
Pallet
Barcode
晶片
晶片文件日期的修正已失。
料架号
条形
Ea03702 WAFER MAP ERROR
Failed to open the map file.
Pallet
Barcode
晶片
打晶片文件已失。
料架号
条形
Ea03703 WAFER MAP ERROR
Failed to read the map file.
Pallet
Barcode
晶片
晶片文件的入已失。
料架号
条形
Ea03704 WAFER MAP FORMAT ERROR
No colon(:) was found.
Pallet
Barcode
晶片格式
未冒号(:)
料架号
条形
Ea03705 WAFER MAP DATA ERROR
Data exceeds maximum dimension.
Pallet
Barcode
晶片数据
数据超了最大的排列数。
料架号
条形
Ea03706 WAFER MAP ERROR
Map data is not used.
Pallet
Barcode
晶片
没有使用晶片数据。
料架号
条形
Ea03707 WAFER MAP DATA ERROR
At least one cell lacks the map data.
Pallet
Barcode
晶片数据
至少有 1 个的元框没有数据。
料架号
条形
Ea03708 WAFER MAP ERROR
Failed to rename the map file.
Pallet
Barcode
晶片
晶片文件名称的更改失了。
料架号
条形
Ea03709 WAFER MAP ERROR
Reading confliction.
晶片
入作受到干。
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 90 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Reading command is issued
while the system is reading other map file.
Pallet
Barcode
在入其他的晶片文件程中
用了入指令。
料架号
条形
Ea03710 WAFER MAP DATA ERROR
Too many rank characters.
Pallet
Barcode
晶片数据
等字符多。
料架号
条形
Ea03711 WAFER MAP FORMAT ERROR
A setup of a rank character has an error.
Please check the following items.
- There is an item which is not set up.
- Characters other than the alphabet and a number are set up.
Pallet
Barcode
晶片格式
行列文字的置有。确以下目。
- 存在没有置的目。
- 使用了半角英文字母及半角数字以外的文字。
料架号
条形
Ea03712 WAFER MAP FORMAT ERROR
<BCEQU> and <NULBC> lines must be put
in prior to the map data lines.
Pallet
Barcode
晶片格式
WAFER MAP FORMAT ERROR
<BCEQU>和<NULBC>的行必
在晶片数据行前面。
料架号
条形
Ea03713 WAFER MAP ERROR
Map data has not been loaded.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
没有入晶片数据。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03714 WAFER MAP ERROR
Teaching has not been done.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
没有完成示教。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03715 WAFER MAP ERROR
Map file has not been supplied.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
没有供晶片文件。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03716 WAFER MAP ERROR
Failed to update the teaching information
of the map file date.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
更新晶片文件的示教信息已失。
料架号
条形
Ea03717 WAFER MAP ERROR
Barcode has not been supplied.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
没有供条形。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03718 WAFER MAP ERROR
Failed to read barcode.
晶片
入条形已失。
确条形入位置
是否已正确置。
Ea03719 WAFER MAP ERROR
Map file has not been found in HDD.
Please supply the map file.
晶片
未能与 HDD 内的晶片文件。
供晶片文件。
Ea03720 WAFER MAP ERROR
The communication port of Wafer bar code reader
is not initialized.
Wafer bar code reader need RS232C extension board.
Please reboot a machine after a check.
晶片
晶片条形器通信端口没有行初始化理。
可能是没有安装展通信卡，或者"展通信卡"的
置"没有"。
使用晶片条形器，必装有展通信卡。
确后，重新启机器。
Ea03721 WAFER MAP ERROR
Time out error happen at the communication port of
Wafer bar code reader.
Please check the port number of Wafer bar code reader.
Please reboot a machine after a check.
晶片
晶片条形器通信卡生了送信超。
确晶片条形器通信卡的号是否已
正确置。
确后，重新启机器。
Ea03722 WAFER MAP ERROR
Failed to reed Wafer bar code.
晶片
入条形失了。
Ea03723 WAFER MAP ERROR
Failed to seek Wafer map file.
晶片
没有的晶片文件。
Ea03724 WAFER DETECTION ERROR
Recognition result is larger
than the half of the component pitch.
晶片
校正量超元件距的一半以上。
利用晶片和矩，
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 91 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Check the relation
between the component position and the count.
Mount data
Component data Name
Pallet
确元件位置和数的一致性。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03725 WAFER DETECTION ERROR
Recognition result is larger
than the half of the component pitch.
Check the relation
between the component position and the count.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
与登相比，校正量在元件距的一半以上。
使用晶片和矩，
确元件位置和数的一致性。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03801 MACHINE DATA ERROR
The setting for FID camera position Z or Moving Height
is not correct.
Please check FID camera position Z
and Moving Height of FID camera Z position.
-Soft Limit < Position Z < Moving Height < +Soft Limit
机器数据
移相机的基准位置，移可能高度的置有。
确是否足如下系。
-极限 < 基准位置 < 移可能高度 < +极限
Ea03802 BOARD DATA ERROR
Mark position Z in the mount data is outside moving area.
Check the mark data.
Mount data No.
基板程序
[装信息]中指定的高度在作范以外。
确信息。
装信息 号
Ea03803 BOARD DATA ERROR
Board fiducial position Z is outside moving area.
Check the mark data.
Mark data No.
基板程序
基板基准的高度在作范以外。
确信息。
号
Ea03804 BOARD DATA ERROR
BLOCK fiducial position Z is outside moving area.
Check the mark data.
Mark data No.
基板程序
拼基准的高度在作范以外。
确信息。
号
Ea03805 BOARD DATA ERROR
LOCAL fiducial position Z is outside moving area.
Check the mark data.
Mount data No.
Fiducial data No.
基板程序
局部基准的高度在作范以外。
确信息。
装数据 号
局部基准 号
Ea03806 BOARD DATA ERROR
Board Badmark position Z is outside moving area.
Check the mark data.
Mark data No.
基板程序
基板坏板的高度在作范以外。
确信息。
号
Ea03807 BOARD DATA ERROR
BLOCK Badmark position Z is outside moving area.
Check the mark data.
Mark data No.
基板程序
拼坏板的高度在作范以外。
确信息。
号
Ea03808 BOARD DATA ERROR
LOCAL Badmark position Z is outside moving area.
Check the mark data.
Local Bad data No.
Mark data No.
基板程序
局部坏板的高度在作范以外。
确信息。
局部坏板号
号
Ea03809 BOARD DATA ERROR
The Target Load in component information is over the soft limit.
Check the component information.
Mount Inf. No.
Comp. Inf. No. Name
Err Information
Error Information 1 : Pick, 2 : Dip, 3 : Mount
基板程序
指定的目荷超了极限。
确元件信息。
装数据 号
元件数据 号 名称
目荷象
目荷象是，1 吸附，2 浸胶，3 装。
Ea03810 BOARD DATA ERROR
The Head can not control Force Data.
Check the component information.
Mount Inf. No.
Head No.
基板程序
在装信息和作流程信息中所指定的装
不能行荷控制作。
确数据。
装数据 号
装号 号
Ea03811 BOARD DATA ERROR
There is no force control data for the target load of the component.
Check the Board data & machine data.
Mount Inf. No.
Comp. Inf. No. Name
Err Information
Error Information 1 : Pick, 2 : Dip, 3 : Mount
基板程序
不存在指定目荷的
有效荷控制数据。
确基板程序、机器数据。
装数据 号
元件数据 号 名称
目荷象
目荷象是，1 吸附、2 浸胶、3 装。
Ea03812 MACHINE DATA ERROR
The setting for Force on Unlock or Force on Lock
机器数据
荷控制数据的、上的置有。