YAMAHA 报警资料.pdf - 第88页

Comparison Table ( English - Chinese ) VGOS V2.46STD R1.000 88 / 237 Copyright (C) 2009 Y amaha Motor Co., Ltd. All Rights Reserved. Code Code Code Code Englis h Englis h Englis h Englis h Chinese Chinese Chinese Chinese…

100%1 / 237
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 87 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
because a pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the pallet sensor.
所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌确󲡹料架和料架感器的状。
Ea03653 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
because LP axis position is lower than safe position.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉比安全位置低，
所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的状。
Ea03654 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
because LU axis position is higher than safe position.
Check the position of wafer LU axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LU 󲱉比安全位置高，
所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LU 󲱉的状。
Ea03655 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
because the pallet is not fixed.
Check the fixation and the sensor of the pallet.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因没有固定料架，所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌确󲡹料架固定状和感器状。
Ea03656 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
because the target position interfere with wafer ring.
Move down the ejector unit.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因目󰓜位置与晶片󱎭互相碰撞，
所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌下降推󳕋器装置。
Ea03657 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the LXY axes are not on the proper position.
Check the position of wafer LXY axes.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LXY 󲱉不在指定位置，
所以晶片 LH 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LXY 󲱉的位置。
Ea03658 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because a pallet is out of the magazine.
Check the pallet position and the sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架从收󱮈柜中出，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹料架的位置和感器的状。
Ea03659 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the latch is open.
Check the latch sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因󳊾󳇖被打，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹󳊾󳇖感器的状。
Ea03660 INTERLOCK ERROR
Wafer LT axis can not perform quick action
because the LP axis position is too low.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉的位置󲲜低，
所以晶片 LT 󲱉不能󲲰行 Quick 移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的位置。
Ea03661 INTERLOCK ERROR
Wafer LT axis can not move
because the LP axis position is too low.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉的位置󲲜低，
所以晶片 LT 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的位置。
Ea03662 INTERLOCK ERROR
Wafer LT axis can not move
because the LS axis position is too high.
Check the position of wafer LS axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LS 󲱉的位置󲲜高，
所以晶片 LT 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LS 󲱉的位置。
Ea03663 INTERLOCK ERROR
Wafer LR axis can not perform quick action
because the LP axis position is too low.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉的位置󲲜低，
所以晶片 LR 󲱉不能󲲰行 Quick 移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的位置。
Ea03664 INTERLOCK ERROR
Wafer LR axis can not move
because the LP axis position is too low.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉的位置󲲜低，
所以晶片 LR 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的位置。
Ea03665 INTERLOCK ERROR
Wafer LS axis can not move
because the LT axis position is above the LS axis.
Check the position of wafer LT axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LT 󲱉在上空，
所以晶片 LS 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LT 󲱉的位置。
Ea03666 INTERLOCK ERROR
Wafer LU axis can not move
because the LXY axes are moving.
Check the status of wafer LXY axes.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LXY 󲱉正在移，
所以晶片 LU 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LXY 󲱉的状。
Ea03667 INTERLOCK ERROR
Wafer LU axis can not move
because the ejector unit is down.
Check the ejector unit sensor.
Information A
Information B
󱴩󳇖󳇮󲣄
因推󳕋器装置下降状，
所以晶片 LU 󲱉不能移。
󲣌确󲡹推󳕋器装置感器的状。
Information A
Information B
Ea03668 INTERLOCK ERROR
Pallet fix pins can not move up/down
because the LH axis are moving.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LH 󲱉正在移，
所以料架固定󳅝不能上或下。
Ea03669 INTERLOCK ERROR
Pallet fix pins can not move up/down
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架不在󲚙定位置，
所以料架固定󳅝不能上下。
󲣌确󲡹料架位置感器的状。
Ea03670 INTERLOCK ERROR 󱴩󳇖󳇮󲣄
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 88 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Hook unit can not move up/down
because the LH axis stays between the magazine and
wait position.
Check the wafer LH axis position.
因 LH 󲱉与待机位置相比更接近收󱮈柜，
所以抓手装置不能上下。
󲣌确󲡹 LH 󲱉的位置的状。
Ea03671 INTERLOCK ERROR
Hook unit can not move up/down
because the LH axis is not on the set position.
Check the wafer LH axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LH 󲱉不在󲢓置位置，
所以抓手装置不能上下。
󲣌确󲡹 LH 󲱉位置的状。
Ea03672 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up/down
because the LU axis is not on the proper position.
Check the wafer LU axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LU 󲱉不在指定位置，所以推󳕋器装置
不能上下。
󲣌确󲡹 LU 󲱉的位置的状。
Ea03673 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up/down
because the pallet is not fixed.
Check the fixation and the sensor of the pallet.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因没有固定料架，所以推󳕋器装置
不能上下。
󲣌确󲡹料架固定感器的状。
Ea03674 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up/down
because the LXY axes are not on the proper position.
Check the wafer LXY axes position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LXY 󲱉不在指定位置，
所以推󳕋器装置不能上下。
󲣌确󲡹 LXY 󲱉位置的状。
Ea03675 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not be selected
because the LU axis are not on the proper position.
Check the wafer LU axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LU 󲱉不在指定位置，
所以不能󲳞推󳕋器装置。
󲣌确󲡹 LU 󲱉的位置状。
Ea03676 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not be selected
because the LXY axes are not on the proper position.
Check the wafer LXY axes position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LXY 󲱉不在指定位置，
所以不能󲳞推󳕋器装置。
󲣌确󲡹 LXY 󲱉的位置的状。
Ea03677 INTERLOCK ERROR
Latch can not open/close
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架不在指定位置，所以不能或󳊾󳇖。
󲣌确󲡹料架的位置感器的状。
Ea03678 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the LH axis stays between the magazine and
wait position.
Check the wafer LH axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LH 󲱉与待机位置相比更接近收󱮈柜，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹 LH 󲱉的位置的状。
Ea03679 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the door lock is not activated.
Check the door lock.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因柜󳇖呈启状，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹柜󳇖的󲱨出状。
Ea03680 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the door is open.
Check the door.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因柜󳊽启状，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹柜󳊽的状。
Ea03681 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the wafer LZ axis has no servo power.
Check the door and lock.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LZ 󲱉伺服 OFF ，
所以晶片 LH 󲱉不能移。
󲣌确󲡹柜󳊽和柜󳇖的状。
Ea03682 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up
because the pallet is waffle type one.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因蜂󱝲式料架的原因，推󳕋器装置
不能上下。
Ea03683 INTERLOCK ERROR
Wafer LT axis can not move
because the LS axis lower sensor is OFF.
Check the sensor of wafer LS axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LS 󲱉下降端感器没有反，
所以晶片 LT 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LS 󲱉下降端感器。
Ea03684 INTERLOCK ERROR
Pallet fix pins can not move up/down
because the ejector unit is not the lower end
position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因推󳕋器装置没有下降，所以料架固定󳅝
不能上下。
Ea03685 INTERLOCK ERROR
Hook unit can not move up/down
because the LXY axis is not on the set position.
Check the wafer LXY axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LXY 󲱉不在安装位置，抓手装置
不能上下。
󲣌确󲡹 LXY 󲱉的位置的状。
Ea03686 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the wafer LZ axis is in illegal position.
Check the wafer LZ axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LZ 󲱉不在安装位置上，所以不能移 WaferLH 󲱉。
󲣌确󲡹 LZ 󲱉位置的状。
Ea03687 INTERLOCK ERROR
Pallet clamp can not move open/close
because the ejector unit is not the lower end
position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因推󳕋器装置没有下降，所以料架固定无法/。
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 89 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Ea03688 INTERLOCK ERROR
Pallet clamp can not move open/close
because the LH axis are moving.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LH 󲱉正在移中，所以料架固定无法/。
Ea03689 INTERLOCK ERROR
Pallet clamp can not move open/close
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架没有位于指定的位置，所以料架固定无法/。
Ea03690 INTERLOCK ERROR
Wafer LCY axis can not move
because the Y-axis position is too near.
Please check the position of Y-axis.
Is there the Y-axis in front of "Safety Pos for Camera"?
󱴩󳇖󳇮󲣄
因主机的 Y 󲱉󲲜于靠近，所以晶片󲢛相机 LCY 󲱉无法移。
󲣌确󲡹主机的 Y 󲱉是否位于相机安全位置的前(机器正面一)。
Ea03691 INTERLOCK ERROR
The Y-axis can not move
because the wafer camera LCY-axis is too near.
Please check the LCY-axis position.
Is there the LCY-axis in back of "LCY Waiting Pos"?
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片󲢛相机 LCY 󲱉的位置󲲜于靠近，所以主机的 XY 󲱉无法移。
󲣌确󲡹晶片󲢛相机的 LCY 󲱉是否位于待机位置。
Ea03692 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the ejector unit is down.
Check the ejector unit sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因推󳕋器装置于下降状，所以晶片 LH 󲱉无法移。
󲣌确󲡹推󳕋器装置感器的状。
Ea03693 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because Z axis is moving or Z axis position
safety sensor is OFF.
Check Z axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
主机 Head 的高度于危󳌾位置，所以晶片 LH 󲱉无法移。
可能 Z 󲱉正在移，或 Z 󲱉安全感器于 OFF 状。
󲣌将 Head 移至安全高度。
Ea03694 INTERLOCK ERROR
Hook arm can not move open/close
because the pallet clamp are fix.
Check the pallet clamp sensor "WF.TRAY PALLET CLAMP BACKWORD".
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架于固定状，所以抓手臂无法/。
󲣌确󲡹料架固定的状。
Ea03695 INTERLOCK ERROR
Hook arm can not move open/close
because the wafer LZ axis are moving.
Check the wafer LZ axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LZ 󲱉正在移中，所以抓手臂无法/。
Ea03696 INTERLOCK ERROR
Hook arm can not move open/close
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架没有位于指定位置，所以抓手臂无法/。
󲣌确󲡹料架位置感器的状。
Ea03701 WAFER MAP ERROR
Failed to modify the map file date.
Pallet
Barcode
晶片󳇮󲣄
晶片文件日期的修正已失󲧺。
料架号󱓖
条形󱓖
Ea03702 WAFER MAP ERROR
Failed to open the map file.
Pallet
Barcode
晶片󳇮󲣄
打晶片文件已失󲧺。
料架号󱓖
条形󱓖
Ea03703 WAFER MAP ERROR
Failed to read the map file.
Pallet
Barcode
晶片󳇮󲣄
晶片文件的󲣐入已失󲧺。
料架号󱓖
条形󱓖
Ea03704 WAFER MAP FORMAT ERROR
No colon(:) was found.
Pallet
Barcode
晶片格式󳇮󲣄
未󱂅冒号(:)
料架号󱓖
条形󱓖
Ea03705 WAFER MAP DATA ERROR
Data exceeds maximum dimension.
Pallet
Barcode
晶片数据󳇮󲣄
数据超󲲜了最大的排列数。
料架号󱓖
条形󱓖
Ea03706 WAFER MAP ERROR
Map data is not used.
Pallet
Barcode
晶片󳇮󲣄
没有使用晶片数据。
料架号󱓖
条形󱓖
Ea03707 WAFER MAP DATA ERROR
At least one cell lacks the map data.
Pallet
Barcode
晶片数据󳇮󲣄
至少有 1 个的元框没有数据。
料架号󱓖
条形󱓖
Ea03708 WAFER MAP ERROR
Failed to rename the map file.
Pallet
Barcode
晶片󳇮󲣄
晶片文件名称的更改失󲧺了。
料架号󱓖
条形󱓖
Ea03709 WAFER MAP ERROR
Reading confliction.
晶片󳇮󲣄
󲣐入作受到干。