YAMAHA 报警资料.pdf - 第89页
Comparison Table ( English - Chinese ) VGOS V2.46STD R1.000 89 / 237 Copyright (C) 2009 Y amaha Motor Co., Ltd. All Rights Reserved. Code Code Code Code Englis h Englis h Englis h Englis h Chinese Chinese Chinese Chinese…
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 88 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Hook unit can not move up/down
because the LH axis stays between the magazine and
wait position.
Check the wafer LH axis position.
因 LH 与待机位置相比更接近收柜，
所以抓手装置不能上下。
确 LH 的位置的状。
Ea03671 INTERLOCK ERROR
Hook unit can not move up/down
because the LH axis is not on the set position.
Check the wafer LH axis position.
因 LH 不在置位置，
所以抓手装置不能上下。
确 LH 位置的状。
Ea03672 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up/down
because the LU axis is not on the proper position.
Check the wafer LU axis position.
因 LU 不在指定位置，所以推器装置
不能上下。
确 LU 的位置的状。
Ea03673 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up/down
because the pallet is not fixed.
Check the fixation and the sensor of the pallet.
因没有固定料架，所以推器装置
不能上下。
确料架固定感器的状。
Ea03674 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up/down
because the LXY axes are not on the proper position.
Check the wafer LXY axes position.
因 LXY 不在指定位置，
所以推器装置不能上下。
确 LXY 位置的状。
Ea03675 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not be selected
because the LU axis are not on the proper position.
Check the wafer LU axis position.
因 LU 不在指定位置，
所以不能推器装置。
确 LU 的位置状。
Ea03676 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not be selected
because the LXY axes are not on the proper position.
Check the wafer LXY axes position.
因 LXY 不在指定位置，
所以不能推器装置。
确 LXY 的位置的状。
Ea03677 INTERLOCK ERROR
Latch can not open/close
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
因料架不在指定位置，所以不能或。
确料架的位置感器的状。
Ea03678 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the LH axis stays between the magazine and
wait position.
Check the wafer LH axis position.
因 LH 与待机位置相比更接近收柜，
所以晶片 LZ 不能移。
确 LH 的位置的状。
Ea03679 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the door lock is not activated.
Check the door lock.
因柜呈启状，
所以晶片 LZ 不能移。
确柜的出状。
Ea03680 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the door is open.
Check the door.
因柜启状，
所以晶片 LZ 不能移。
确柜的状。
Ea03681 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the wafer LZ axis has no servo power.
Check the door and lock.
因 LZ 伺服 OFF ，
所以晶片 LH 不能移。
确柜和柜的状。
Ea03682 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up
because the pallet is waffle type one.
因蜂式料架的原因，推器装置
不能上下。
Ea03683 INTERLOCK ERROR
Wafer LT axis can not move
because the LS axis lower sensor is OFF.
Check the sensor of wafer LS axis.
因晶片 LS 下降端感器没有反，
所以晶片 LT 不能移。
确晶片 LS 下降端感器。
Ea03684 INTERLOCK ERROR
Pallet fix pins can not move up/down
because the ejector unit is not the lower end
position.
因推器装置没有下降，所以料架固定
不能上下。
Ea03685 INTERLOCK ERROR
Hook unit can not move up/down
because the LXY axis is not on the set position.
Check the wafer LXY axis position.
因 LXY 不在安装位置，抓手装置
不能上下。
确 LXY 的位置的状。
Ea03686 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the wafer LZ axis is in illegal position.
Check the wafer LZ axis position.
因 LZ 不在安装位置上，所以不能移 WaferLH 。
确 LZ 位置的状。
Ea03687 INTERLOCK ERROR
Pallet clamp can not move open/close
because the ejector unit is not the lower end
position.
因推器装置没有下降，所以料架固定无法/。
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 89 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Ea03688 INTERLOCK ERROR
Pallet clamp can not move open/close
because the LH axis are moving.
因晶片 LH 正在移中，所以料架固定无法/。
Ea03689 INTERLOCK ERROR
Pallet clamp can not move open/close
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
因料架没有位于指定的位置，所以料架固定无法/。
Ea03690 INTERLOCK ERROR
Wafer LCY axis can not move
because the Y-axis position is too near.
Please check the position of Y-axis.
Is there the Y-axis in front of "Safety Pos for Camera"?
因主机的 Y 于靠近，所以晶片相机 LCY 无法移。
确主机的 Y 是否位于相机安全位置的前(机器正面一)。
Ea03691 INTERLOCK ERROR
The Y-axis can not move
because the wafer camera LCY-axis is too near.
Please check the LCY-axis position.
Is there the LCY-axis in back of "LCY Waiting Pos"?
因晶片相机 LCY 的位置于靠近，所以主机的 XY 无法移。
确晶片相机的 LCY 是否位于待机位置。
Ea03692 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the ejector unit is down.
Check the ejector unit sensor.
因推器装置于下降状，所以晶片 LH 无法移。
确推器装置感器的状。
Ea03693 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because Z axis is moving or Z axis position
safety sensor is OFF.
Check Z axis position.
主机 Head 的高度于危位置，所以晶片 LH 无法移。
可能 Z 正在移，或 Z 安全感器于 OFF 状。
将 Head 移至安全高度。
Ea03694 INTERLOCK ERROR
Hook arm can not move open/close
because the pallet clamp are fix.
Check the pallet clamp sensor "WF.TRAY PALLET CLAMP BACKWORD".
因料架于固定状，所以抓手臂无法/。
确料架固定的状。
Ea03695 INTERLOCK ERROR
Hook arm can not move open/close
because the wafer LZ axis are moving.
Check the wafer LZ axis position.
因晶片 LZ 正在移中，所以抓手臂无法/。
Ea03696 INTERLOCK ERROR
Hook arm can not move open/close
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
因料架没有位于指定位置，所以抓手臂无法/。
确料架位置感器的状。
Ea03701 WAFER MAP ERROR
Failed to modify the map file date.
Pallet
Barcode
晶片
晶片文件日期的修正已失。
料架号
条形
Ea03702 WAFER MAP ERROR
Failed to open the map file.
Pallet
Barcode
晶片
打晶片文件已失。
料架号
条形
Ea03703 WAFER MAP ERROR
Failed to read the map file.
Pallet
Barcode
晶片
晶片文件的入已失。
料架号
条形
Ea03704 WAFER MAP FORMAT ERROR
No colon(:) was found.
Pallet
Barcode
晶片格式
未冒号(:)
料架号
条形
Ea03705 WAFER MAP DATA ERROR
Data exceeds maximum dimension.
Pallet
Barcode
晶片数据
数据超了最大的排列数。
料架号
条形
Ea03706 WAFER MAP ERROR
Map data is not used.
Pallet
Barcode
晶片
没有使用晶片数据。
料架号
条形
Ea03707 WAFER MAP DATA ERROR
At least one cell lacks the map data.
Pallet
Barcode
晶片数据
至少有 1 个的元框没有数据。
料架号
条形
Ea03708 WAFER MAP ERROR
Failed to rename the map file.
Pallet
Barcode
晶片
晶片文件名称的更改失了。
料架号
条形
Ea03709 WAFER MAP ERROR
Reading confliction.
晶片
入作受到干。
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 90 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Reading command is issued
while the system is reading other map file.
Pallet
Barcode
在入其他的晶片文件程中
用了入指令。
料架号
条形
Ea03710 WAFER MAP DATA ERROR
Too many rank characters.
Pallet
Barcode
晶片数据
等字符多。
料架号
条形
Ea03711 WAFER MAP FORMAT ERROR
A setup of a rank character has an error.
Please check the following items.
- There is an item which is not set up.
- Characters other than the alphabet and a number are set up.
Pallet
Barcode
晶片格式
行列文字的置有。确以下目。
- 存在没有置的目。
- 使用了半角英文字母及半角数字以外的文字。
料架号
条形
Ea03712 WAFER MAP FORMAT ERROR
<BCEQU> and <NULBC> lines must be put
in prior to the map data lines.
Pallet
Barcode
晶片格式
WAFER MAP FORMAT ERROR
<BCEQU>和<NULBC>的行必
在晶片数据行前面。
料架号
条形
Ea03713 WAFER MAP ERROR
Map data has not been loaded.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
没有入晶片数据。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03714 WAFER MAP ERROR
Teaching has not been done.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
没有完成示教。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03715 WAFER MAP ERROR
Map file has not been supplied.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
没有供晶片文件。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03716 WAFER MAP ERROR
Failed to update the teaching information
of the map file date.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
更新晶片文件的示教信息已失。
料架号
条形
Ea03717 WAFER MAP ERROR
Barcode has not been supplied.
Mount data
Component data Name
Pallet
晶片
没有供条形。
装数据
元件数据 名称
料架号
Ea03718 WAFER MAP ERROR
Failed to read barcode.
晶片
入条形已失。
确条形入位置
是否已正确置。
Ea03719 WAFER MAP ERROR
Map file has not been found in HDD.
Please supply the map file.
晶片
未能与 HDD 内的晶片文件。
供晶片文件。
Ea03720 WAFER MAP ERROR
The communication port of Wafer bar code reader
is not initialized.
Wafer bar code reader need RS232C extension board.
Please reboot a machine after a check.
晶片
晶片条形器通信端口没有行初始化理。
可能是没有安装展通信卡，或者"展通信卡"的
置"没有"。
使用晶片条形器，必装有展通信卡。
确后，重新启机器。
Ea03721 WAFER MAP ERROR
Time out error happen at the communication port of
Wafer bar code reader.
Please check the port number of Wafer bar code reader.
Please reboot a machine after a check.
晶片
晶片条形器通信卡生了送信超。
确晶片条形器通信卡的号是否已
正确置。
确后，重新启机器。
Ea03722 WAFER MAP ERROR
Failed to reed Wafer bar code.
晶片
入条形失了。
Ea03723 WAFER MAP ERROR
Failed to seek Wafer map file.
晶片
没有的晶片文件。
Ea03724 WAFER DETECTION ERROR
Recognition result is larger
than the half of the component pitch.
晶片
校正量超元件距的一半以上。
利用晶片和矩，