YAMAHA 报警资料.pdf - 第87页

Comparison Table ( English - Chinese ) VGOS V2.46STD R1.000 87 / 237 Copyright (C) 2009 Y amaha Motor Co., Ltd. All Rights Reserved. Code Code Code Code Englis h Englis h Englis h Englis h Chinese Chinese Chinese Chinese…

100%1 / 237
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 86 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Machine
Component data Name
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03635 BOARD DATA ERROR
One or more corners of the waffle tray
are out of the LXY moving area.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
蜂󱝲式托󱎭中的一以上的角
在 LXY 󲱄极限范外。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03636 BOARD DATA ERROR
Wafer map option has not been installed.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
没有安装晶片󲳞󳕎。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03637 BOARD DATA ERROR
More than 1 wafer components use the wafer map function
on the same pallet.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
数个晶片元件在同一个
料架上使用晶片功能。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03638 BOARD DATA ERROR
No Wafer-TC head carries the nozzle that can handle
this component.
基板程序󳇮󲣄
所指定的托󱎭交󰀷器 Head 中没有
安装能理󲢺晶片元件的吸嘴。
Ea03639 BOARD DATA ERROR
Alignment mark can not be used for waffle.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
蜂󱝲状托󱎭不能使用位置校正󰓜󲢅。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03640 BOARD DATA ERROR
Alignment mark number is not defined.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
没有指定位置校正󰓜󲢅号󱓖。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03641 BOARD DATA ERROR
Mark data does not exist on the defined record.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
不存在位置校正󰓜󲢅号󱓖指定的󰓜󲢅数据。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03642 BOARD DATA ERROR
Only "Wafer Fid." is allowed for alignment mark.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
位置校正󰓜󲢅的󰓜󲢅󱥐型中只有晶片基准󰓜󲢅可以使用。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03643 BOARD DATA ERROR
Search area for alignment mark is too big
to fit in the camera's FOV.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
位置校正󰓜󲢅的󰨠󰖕范与相机󲚛野相比太大。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03644 BOARD DATA ERROR
Only 1 component data per 1 pallet is allowed
if alignment mark is used.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
使用位置校正󰓜󲢅的元件只容󲢍使用 1 个料架中 1 个元件数据。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03645 BOARD DATA ERROR
No Wafer-TC ejector can handle this component.
Machine
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
没有可以理晶片元件的托󱎭交󰀷器推󳕋器。
机器名称
元件数据 号 名称
Ea03646 BOARD DATA ERROR
When using alternative components in Wafer-TC component,
Only the main component of alternative components
can be specified in mount data.
Mount data
Component data Name
基板程序󳇮󲣄
在晶片中使用替代元件󰋋，󲨉装信息中所指定的晶片元件，
在替代循󱂄内不能有数个。
󲨉装数据
元件数据 Name
Ea03647 LOCAL FIDUCIAL MARK SEARCH ERROR
Local fiducial mark which fits this wafer parts is not found.
The machine cannot start running in this condition.
Please work on following either.
1.You confirm that wafer mark position on map data accords
with mark posion on wafer. Please revise data.
2.Please confirm whether parts position falls under a search pattern.
Please revise mark on wafer or map data.
3.Please change current count than pos teach button and restart
Auto-Running on Machine.
Component data Name
局部基准󰓜󲢅󰒺找󳇮󲣄
没有󰒺找到适用于本晶片元件的基准󰓜󲢅。
在󲢺状下，无法󱮼󱯂运行。
󲣌施下列作之一。
1.确󲡹晶片上的󰓜󲢅位置与晶片数据的󰓜󲢅位置是否一致，
修改晶片数据。
2.确󲡹元件位置是否适合󰒺找󱥐型中的任意󱥐型，
修改晶片上的󰓜󲢅或晶片数据。
3.通󲲜坐󰓜的示教按󳆃，更改当前󲡶数，从其它元件始运行。
元件数据 名称
Ea03651 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
because the hook unit is down.
Check the up-down sensor for the hook unit.
󱴩󳇖装置󳇮󲣄
因抓手装置正在下降，
所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌确󲡹抓手装置的上下感器的状。
Ea03652 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架在不上不下的位置上，
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 87 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
because a pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the pallet sensor.
所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌确󲡹料架和料架感器的状。
Ea03653 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
because LP axis position is lower than safe position.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉比安全位置低，
所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的状。
Ea03654 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
because LU axis position is higher than safe position.
Check the position of wafer LU axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LU 󲱉比安全位置高，
所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LU 󲱉的状。
Ea03655 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
because the pallet is not fixed.
Check the fixation and the sensor of the pallet.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因没有固定料架，所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌确󲡹料架固定状和感器状。
Ea03656 INTERLOCK ERROR
Wafer LXY axes can not move
because the target position interfere with wafer ring.
Move down the ejector unit.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因目󰓜位置与晶片󱎭互相碰撞，
所以晶片 LXY 󲱉不能移。
󲣌下降推󳕋器装置。
Ea03657 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the LXY axes are not on the proper position.
Check the position of wafer LXY axes.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LXY 󲱉不在指定位置，
所以晶片 LH 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LXY 󲱉的位置。
Ea03658 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because a pallet is out of the magazine.
Check the pallet position and the sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架从收󱮈柜中出，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹料架的位置和感器的状。
Ea03659 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the latch is open.
Check the latch sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因󳊾󳇖被打，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹󳊾󳇖感器的状。
Ea03660 INTERLOCK ERROR
Wafer LT axis can not perform quick action
because the LP axis position is too low.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉的位置󲲜低，
所以晶片 LT 󲱉不能󲲰行 Quick 移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的位置。
Ea03661 INTERLOCK ERROR
Wafer LT axis can not move
because the LP axis position is too low.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉的位置󲲜低，
所以晶片 LT 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的位置。
Ea03662 INTERLOCK ERROR
Wafer LT axis can not move
because the LS axis position is too high.
Check the position of wafer LS axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LS 󲱉的位置󲲜高，
所以晶片 LT 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LS 󲱉的位置。
Ea03663 INTERLOCK ERROR
Wafer LR axis can not perform quick action
because the LP axis position is too low.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉的位置󲲜低，
所以晶片 LR 󲱉不能󲲰行 Quick 移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的位置。
Ea03664 INTERLOCK ERROR
Wafer LR axis can not move
because the LP axis position is too low.
Check the position of wafer LP axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LP 󲱉的位置󲲜低，
所以晶片 LR 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LP 󲱉的位置。
Ea03665 INTERLOCK ERROR
Wafer LS axis can not move
because the LT axis position is above the LS axis.
Check the position of wafer LT axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LT 󲱉在上空，
所以晶片 LS 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LT 󲱉的位置。
Ea03666 INTERLOCK ERROR
Wafer LU axis can not move
because the LXY axes are moving.
Check the status of wafer LXY axes.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LXY 󲱉正在移，
所以晶片 LU 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LXY 󲱉的状。
Ea03667 INTERLOCK ERROR
Wafer LU axis can not move
because the ejector unit is down.
Check the ejector unit sensor.
Information A
Information B
󱴩󳇖󳇮󲣄
因推󳕋器装置下降状，
所以晶片 LU 󲱉不能移。
󲣌确󲡹推󳕋器装置感器的状。
Information A
Information B
Ea03668 INTERLOCK ERROR
Pallet fix pins can not move up/down
because the LH axis are moving.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LH 󲱉正在移，
所以料架固定󳅝不能上或下。
Ea03669 INTERLOCK ERROR
Pallet fix pins can not move up/down
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架不在󲚙定位置，
所以料架固定󳅝不能上下。
󲣌确󲡹料架位置感器的状。
Ea03670 INTERLOCK ERROR 󱴩󳇖󳇮󲣄
Comparison Table ( English - Chinese )
VGOS V2.46STD R1.000 88 / 237 Copyright (C) 2009 Yamaha Motor Co.,Ltd. All Rights Reserved.
Code
CodeCode
Code
English
EnglishEnglish
English
Chinese
ChineseChinese
Chinese
Hook unit can not move up/down
because the LH axis stays between the magazine and
wait position.
Check the wafer LH axis position.
因 LH 󲱉与待机位置相比更接近收󱮈柜，
所以抓手装置不能上下。
󲣌确󲡹 LH 󲱉的位置的状。
Ea03671 INTERLOCK ERROR
Hook unit can not move up/down
because the LH axis is not on the set position.
Check the wafer LH axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LH 󲱉不在󲢓置位置，
所以抓手装置不能上下。
󲣌确󲡹 LH 󲱉位置的状。
Ea03672 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up/down
because the LU axis is not on the proper position.
Check the wafer LU axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LU 󲱉不在指定位置，所以推󳕋器装置
不能上下。
󲣌确󲡹 LU 󲱉的位置的状。
Ea03673 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up/down
because the pallet is not fixed.
Check the fixation and the sensor of the pallet.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因没有固定料架，所以推󳕋器装置
不能上下。
󲣌确󲡹料架固定感器的状。
Ea03674 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up/down
because the LXY axes are not on the proper position.
Check the wafer LXY axes position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LXY 󲱉不在指定位置，
所以推󳕋器装置不能上下。
󲣌确󲡹 LXY 󲱉位置的状。
Ea03675 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not be selected
because the LU axis are not on the proper position.
Check the wafer LU axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LU 󲱉不在指定位置，
所以不能󲳞推󳕋器装置。
󲣌确󲡹 LU 󲱉的位置状。
Ea03676 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not be selected
because the LXY axes are not on the proper position.
Check the wafer LXY axes position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LXY 󲱉不在指定位置，
所以不能󲳞推󳕋器装置。
󲣌确󲡹 LXY 󲱉的位置的状。
Ea03677 INTERLOCK ERROR
Latch can not open/close
because the pallet is not on the proper position.
Check the pallet position and the sensor.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因料架不在指定位置，所以不能或󳊾󳇖。
󲣌确󲡹料架的位置感器的状。
Ea03678 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the LH axis stays between the magazine and
wait position.
Check the wafer LH axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LH 󲱉与待机位置相比更接近收󱮈柜，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹 LH 󲱉的位置的状。
Ea03679 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the door lock is not activated.
Check the door lock.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因柜󳇖呈启状，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹柜󳇖的󲱨出状。
Ea03680 INTERLOCK ERROR
Wafer LZ axis can not move
because the door is open.
Check the door.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因柜󳊽启状，
所以晶片 LZ 󲱉不能移。
󲣌确󲡹柜󳊽的状。
Ea03681 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the wafer LZ axis has no servo power.
Check the door and lock.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LZ 󲱉伺服 OFF ，
所以晶片 LH 󲱉不能移。
󲣌确󲡹柜󳊽和柜󳇖的状。
Ea03682 INTERLOCK ERROR
Ejector unit can not move up
because the pallet is waffle type one.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因蜂󱝲式料架的原因，推󳕋器装置
不能上下。
Ea03683 INTERLOCK ERROR
Wafer LT axis can not move
because the LS axis lower sensor is OFF.
Check the sensor of wafer LS axis.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因晶片 LS 󲱉下降端感器没有反，
所以晶片 LT 󲱉不能移。
󲣌确󲡹晶片 LS 󲱉下降端感器。
Ea03684 INTERLOCK ERROR
Pallet fix pins can not move up/down
because the ejector unit is not the lower end
position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因推󳕋器装置没有下降，所以料架固定󳅝
不能上下。
Ea03685 INTERLOCK ERROR
Hook unit can not move up/down
because the LXY axis is not on the set position.
Check the wafer LXY axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LXY 󲱉不在安装位置，抓手装置
不能上下。
󲣌确󲡹 LXY 󲱉的位置的状。
Ea03686 INTERLOCK ERROR
Wafer LH axis can not move
because the wafer LZ axis is in illegal position.
Check the wafer LZ axis position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因 LZ 󲱉不在安装位置上，所以不能移 WaferLH 󲱉。
󲣌确󲡹 LZ 󲱉位置的状。
Ea03687 INTERLOCK ERROR
Pallet clamp can not move open/close
because the ejector unit is not the lower end
position.
󱴩󳇖󳇮󲣄
因推󳕋器装置没有下降，所以料架固定无法/。