SM431_Administrators_Guide(Chi_Ver2).pdf - 第335页
12-31 Machine Calibration 单击 ’AXIS’ 按扭选择 XY ，使 Vi s i o n 上的十字线和 Transport Rail Frame 一致， 再 单击 ’MODE’ 按扭， 选择 Jog ， 按住 Y(+) 方向移动按扭漫漫移动。 9. 如一致， 单击示教盒的 < 得到数据 > 按扭。 10. 然后， 用鼠 标选择 参考点 #2 相应的 < 边缘偏离度 > 编辑框， 单击 &…
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3. 单击<基准告知>按钮，正确示教被选Station的各Fiducial Mark后，单击<自我
调整>按钮扫描正确的位置。
4. 单击<更新 >按钮更新Fiducial Mark的位置信息。
5. 请单击<边缘偏离度查找..>按钮
6. <工作站> 目录框中选择要校对的Station。
7. 用鼠标选择 参考点#1相应的<边缘偏离度>编辑框，单击<移动相机>按扭。
8. 那么，基准相机移动到该Fiducial Mark位置。上升Backup Table，利用Teachbox
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Machine Calibration
单击’AXIS’按扭选择XY，使 Vision上的十字线和Transport Rail Frame一致，再
单击’MODE’按扭，选择Jog，按住Y(+)方向移动按扭漫漫移动。
9. 如一致，单击示教盒的<得到数据>按扭。
10. 然后，用鼠标选择 参考点#2相应的<边缘偏离度>编辑框，单击<移动相机>按
扭
11. 用 参考点#1的示教方法，同样地对 参考点#2执行示教。
12. 对所选 Station的Fiducial Mark完成示教，则用同样的方法对其他Fiducial Mark
执行示教。
13. 2到12号的过程各Station要单独执行，请按如下的顺序执行：ST-Gate1→ ST1F-
Work → ST1R-Work → ST-Gate2
14. 参考 “12.3.12. 板子位置设定”后准确地对止挡件位置进行示教。
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12.3.6. X-XY Compensation
为了补偿X轴移动时发生的XY误差而执行。如果Thermal Mapping及 Gantry
Mapping已被激活时，为了执行X-XY Compensation强制性的让 Mapping处于非激活
(Disable)状态。
注 意 X-XY Compensation在设备出厂之前在工厂执行。为了执行此
过程必须需要专用校正 Tool。
一般情况下此过程为进行Skip 后，请执行后续过程的校正。
图
12.11 “X-XY Compensation”
对话框
Mode 选项 按钮
选择执行相应过程的模式。
<校正> 选项 按钮
以校正模式执行X-XY Compensation后反应其结果值。
<测量> 选项 按钮
以测定模式执行X-XY Compensation后不反应结果值。为测定Y轴故障时选
择。
Gantry选择用箭头键