SM431_Administrators_Guide(Chi_Ver2).pdf - 第361页

12-57 Machine Calibration 8. 那么, 磁头 1 上升到 Fly-Camera 的 Align 高度, 关闭 Mirror 。 然后在消息窗显示 “ 准备标准对于标准, 单击 [ 下一步 ]” 消息。 此时 单击 < 亮度 > 按钮, 在 ” 亮度 控制 ” 对话框中 ’SMV ision’ 窗口 显示的 Calibration T ool 上的 Fiducoal Mark 明 显为止 调整照明亮度…

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备注 Head 1为基准的XY Offset基准值如下
Head1 - X: 0 mm , Y: 0 mm
Head2 - X: 14.96mm ~ 15.04mm, Y: -0.035 mm ~ 0.035 mm
Head3 - X: 29.96mm ~ 30.04mm, Y: -0.035 mm ~ 0.035 mm
Head4 - X: 44.96mm ~ 45.04mm, Y: -0.035 mm ~ 0.035 mm
Head5 - X: 59.96mm ~ 60.04mm, Y: -0.035 mm ~ 0.035 mm
Head6 - X: 74.96mm ~ 75.04mm, Y: -0.035 mm ~ 0.035 mm
Head7 - X: 89.96mm ~ 90.04mm, Y: -0.035 mm ~ 0.035 mm
Head8 - X: 104.96mm ~ 105.04mm, Y: -0.035 mm ~ 0.035 mm
12.3.11.3. Fly Camera Scale Calibration
测量Fly-Camera的标度(Scale)为了执行Fly-Camera Scale 校正作业之前首先要
认校正 Tool是否在ANC的校正 Tool 处。
下面是 Fly-Camera Scale Calibration的校正步骤。
1. 单击<准备吸嘴>按钮,ANC1号孔中插 CN400吸嘴。
2. 圈选<自动下一步>复选框后再单击<Fly Camera Scale>键,将自动校正选定
Gantry并显示其结果。
如果需要以手动方式进行,则圈选<没有实际运动(手动)>复选框后单击 <Fly
Camera Scale>键,然后按照下列步骤进行。
则在消息窗显示首先,我们必须把所有吸嘴手动离开朝向。Z轴调制低处,
单击[下一步]”消息。为手动除去所有贴装在磁头的吸嘴,拉下磁头的 Z轴请单
<下个 >按钮。
3. HEAD移动到设备指定的位置后下降所有Z轴。此时,请手动清除插入的所有喷
嘴。
4. 显示下一步,将标准工具粘贴在头部1单击[下一步]向下移动。移动后,手动
粘贴工具到首部。消息。在吸嘴1号的吸嘴座手动安装 CN400 吸嘴后,请单击
<下个 > 按钮。
5. 显示调整工具移动到中心位置。移动,单击[下一步]” 消息
了把磁头组件
移动到固定相机1的中心位置,请单击 <下个>按钮。
6. 示的Calibration Tool上的 Ficucial Mark明显为止调整照明亮度。
7. 显示排列高度上升,镜像关闭 移动,单击[下一]”信息。请单击<下一步>
钮。
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Machine Calibration
8. 那么,磁头1上升到Fly-CameraAlign高度,关闭 Mirror 然后在消息窗显示
准备标准对于标准,单击[下一步]” 消息。此时 单击 <亮度>按钮, 亮度控制
对话框中’SMVision’窗口 显示的Calibration Tool上的 Fiducoal Mark显为止
调整照明亮度后单击<下个> 按钮。
9. 校正是 Fly-Camera识别校正 Tool 底面的Fiducial Mark 2点后,校正 Tool放到
ANC顶面的校正 Tool位置,之后识别校正 Tool上面的边缘Fiducial Mark 2点。
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10. Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值,请单击 <下个> 按钮。
11. 显示下一步, 把校校正工具从H1取下, 单击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除CNT400 吸嘴请单
<下个>按钮。
12. 请按照对飞行相1的校正方法,同样地从飞行相机2~8执行校正。
对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。