SM431_Administrators_Guide(Chi_Ver2).pdf - 第362页
12-58 Samsung Componen t Placer SM431 Administrator’s Guide 10. Calibration 后完成 Calibration 则如下 图显示结果值， 请单击 < 下个 > 按钮。 11 . 显示 “ 下一步 , 把校校正工具从 H1 取下 , 单击 [ 下一步 ] 头将向下 移动。 移动完成 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支架手动除 去 CN…
12-57
Machine Calibration
8. 那么，磁头1上升到Fly-Camera的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示“
准备标准对于标准，单击[下一步]” 消息。此时 单击 <亮度>按钮，在 ”亮度控制
”对话框中’SMVision’窗口 显示的Calibration Tool上的 Fiducoal Mark明显为止
调整照明亮度后单击<下个> 按钮。
9. 校正是：用 Fly-Camera识别校正 Tool 底面的Fiducial Mark 2点后，校正 Tool放到
ANC顶面的校正 Tool位置，之后识别校正 Tool上面的边缘Fiducial Mark 2点。
12-58
Samsung Component Placer SM431 Administrator’s Guide
10. Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请单击 <下个> 按钮。
11. 显示“下一步, 把校校正工具从H1取下, 单击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CNT400 吸嘴请单
击 <下个>按钮。
12. 请按照对飞行相机1的校正方法，同样地从飞行相机2~8执行校正。
对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。
12-59
Machine Calibration
13. 利用 Gantry选择用箭头键选择“1R”后，像“1F”一样进行校正作业。
结果值在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
备注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 25 MEGA
ScaleX: 22.7~23.7 (μm/pixel)
ScaleY: 22.7~23.7 (μm/pixel)