SM431_Administrators_Guide(Chi_Ver2).pdf - 第369页

12-65 Machine Calibration 对所有磁头正常完成 Calibration 次序, 则如下图显示 结果值。 11 . 利用 Gantry 选择用箭头键选择 “1R” 后, 像 “1F” 一样进行校正作业 。 结果值可以在 ‘ 系统设置 ' 菜单的 “ 照相机 ” 子菜单中 “fly- 固定照相机偏移 "T AP 对话框进行确认。 备注 Fly to Fix Offset 的校正基准值如下。  O…

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8. 校正首先旋转45度校正 Tool 的同时用Fly-Camera识别校正Tool 底面的
FiducialMark 2点。
之后把校正 Tool 位于 ANC顶面的校正 Tool 位置后, Fiducial Camera识别校正
Tool 上面的Fiducial Mark 2点。
然后重新吸附校正工具旋转90度放置此处后利用Fiducial Camera识别校正工具
顶面的基准标2处。用此方式对一个HEAD旋转90度在0度,90度,180度,270
度四个方向测定。
9. 执行校正后。结束校正则如下图显示结果值。
10. 请按照对磁头1的校正方法,Head 2~8号执行校正。
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Machine Calibration
对所有磁头正常完成 Calibration 次序,则如下图显示结果值。
11. 利用 Gantry选择用箭头键选择“1R”后,“1F”一样进行校正作业
结果值可以在系统设置'菜单的照相机子菜单中“fly-固定照相机偏移"TAP
对话框进行确认。
备注 Fly to Fix Offset 的校正基准值如下。
Offset X, Y : -0.050 ~ 0.050(mm)
Fly Runout Offset 的校正基准值如下。
Offset X, Y : -0.020 ~ 0.020(mm)
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12.3.11.6. R-Axis Offset Calibration
R轴的识别角度和贴装角度不相同时,因为通过Vision不能完全补正R轴的误差,
此下降贴装精度。
因此R轴的Motion用数据的方式补正近似值,为了最小化此误差执行R-Axis Offset
校正。
校正作业之前首先要确认校正 Tool 是否在ANC的校正 Tool处。
下面是 R-Axis Offset 的校正步骤。
1. 单击<准备吸嘴>按钮,ANC2号孔中插 CN400 吸嘴。
2. 圈选<自动下一步>复选框后再单击<R-Axis Offset>键,将自动校正选定Gantry
并显示其结果。
如果需要以手动方式进行,则圈选<没有实际运动(手动)>复选框后单击 <R-
Axis Offset>键,然后按照下列步骤进行。
则在消息窗显示首先,我们必须把所有吸嘴手动离开朝向。Z轴调制低处,
单击[下一步]”消息。为手动除去所有贴装在磁头的吸嘴,拉下磁头的 Z轴请单
<下个 >按钮。
3. Head 移动到设备原点位置后,拉下所有Z轴。此时,请手动除去所有已贴装的吸
嘴。
4. 显示下一步,将标准工具粘贴在头部1单击[下一步]向下移动。移动后,手动
粘贴工具到首部。消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动安装 CN400 吸嘴后,
单击<下个>按钮。
5. 显示调整
工具移动到中心位置。移动,单击[下一步]” 消息。为了把
HeadAssembly移动到ANC上的Calibrration Tool位置,请单击 <下个> 按钮。
6. 那么,磁头1上升到Fly-CameraAlign高度关闭 Mirror 然后在消息窗显示
准备标准对于标准,单击[下一步]” 消息。此时 单击 <亮度>按钮,亮度控制
对话框中’SMVision’窗口 显示的Calibration Tool上的 Fiducoal Mark明显为止
调整照明亮度后单击<下个> 按钮。