S 20 Series Maintenance I.pdf - 第198页
2000 年 6 月版 S 2 0 系列维修培训指南 I 5 旋转头 26 5. 1 .23 5. 1 .23 5. 1 .23 5. 1 .23 拾取 顺 序 拾取 顺 序 拾取 顺 序 拾取 顺 序 -Z 轴下位 -Z 轴下位 -Z 轴下位 -Z 轴下位 Fig. 5. 1 - 20 拾取 顺 序 Z 轴下位 启动悬臂轴至下一个 供料器的拾取 位置 并与供料台通 讯 至悬臂轴的 起 动信号 下一个供料信号 / 打 开料 盖 X, Y…
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
5 旋转头
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5.1.22
5.1.225.1.22
5.1.22 DP 站上的转动过程 -3
DP 站上的转动过程 -3DP 站上的转动过程 -3
DP 站上的转动过程 -3.
..
. 旋转停止
旋转停止旋转停止
旋转停止
Fig. 5.1 - 19DP站上的转动过程 -3. 旋转停止
提出停止旋转的要求是 DP 定位的终止信号
光栅读数盘轴从 DP 电机上打开
步进电机由凸轮上的光电传感器控制
图1显示旋转停止的状态
从转入状态起 步进电机逆时针方向转动 90° 直至旋转停止
图 2 显示转入状态
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2.
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5 旋转头
26
5.1.23
5.1.235.1.23
5.1.23 拾取顺序
拾取顺序拾取顺序
拾取顺序 -Z 轴下位
-Z 轴下位-Z 轴下位
-Z 轴下位
Fig. 5.1 - 20 拾取顺序 Z 轴下位
启动悬臂轴至下一个供料器的拾取 位置 并与供料台通讯
至悬臂轴的起动信号
下一个供料信号 / 打开料盖
X, Y 和旋转轴的终止信号
段位器是否密封 ?
所有 3 个终止信号都有了
Z 轴起动
Z 轴开始向下定位
上位光电传感器 LB 开关
允许下位光电传感器开关 LB 动作
下位光电传感器 (LB) 开关
终止信号使 Z 轴下位定位 阀门电机到真空位置
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5 旋转头
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5.1.24
5.1.245.1.24
5.1.24 拾取顺序
拾取顺序拾取顺序
拾取顺序 Z 轴上位
Z 轴上位Z 轴上位
Z 轴上位
Fig. 5.1 - 21拾取顺序 Z 轴上位
下位光电传感器 (LB) 开关
终止信号使 Z 轴下位定位 阀门电机至真空位 置
这两个动作是否都已完成 ?
起动信号向上运动
Z - 轴起动
使 Z 轴向上运动至适当位置
上位光电传感器 (LB) 开关
复位下位光电传感器 (LB) 信号
进行第一次真空检测 元件是否已拾取好 ?
( 检测通过 返回 OK 信号 ) 悬臂轴的允许信号
与供料台的通信
关闭料盖 并供料器进料
Z 轴终止信号
Z 轴在零位 DP 站旋转停止
进行第二次真空检测 元件是否已拾取好 ?
允许旋转轴起动
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