S 20 Series Maintenance I.pdf - 第265页
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版 5 旋转头 93 5.4. 1 5 5.4. 1 5 5.4. 1 5 5.4. 1 5 真空供 给 真空供 给 真空供 给 真空供 给 Fig. 5.4 - 1 3 真空供 给
2000 年 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
5 旋转头
92
5.4.14
5.4.145.4.14
5.4.14 带步进电机的真空 / 吹气阀
带步进电机的真空 / 吹气阀带步进电机的真空 / 吹气阀
带步进电机的真空 / 吹气阀
Fig. 5.4 - 12 带步进电机的吹气阀
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
5 旋转头
93
5.4.15
5.4.155.4.15
5.4.15 真空供给
真空供给真空供给
真空供给
Fig. 5.4 - 13 真空供给
2000 年 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
5 旋转头
94
5.4.16
5.4.165.4.16
5.4.16 吹气供给
吹气供给吹气供给
吹气供给
Fig. 5.4 - 14 吹气供给