S 20 Series Maintenance I.pdf - 第238页
2000 年 6 月版 S 2 0 系列维修培训指南 I 5 旋转头 66 5.3. 1 6 5.3. 1 6 5.3. 1 6 5.3. 1 6 真空供 给 真空供 给 真空供 给 真空供 给 Fig. 5.3 - 1 6 真空供 给
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
5 旋转头
65
5.3.15
5.3.155.3.15
5.3.15 带步进电机的真空 / 吹气阀
带步进电机的真空 / 吹气阀带步进电机的真空 / 吹气阀
带步进电机的真空 / 吹气阀
Fig. 5.3 - 15 带步进电机的吹气阀
2000 年 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
5 旋转头
66
5.3.16
5.3.165.3.16
5.3.16 真空供给
真空供给真空供给
真空供给
Fig. 5.3 - 16 真空供给
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
5 旋转头
67
5.3.17
5.3.175.3.17
5.3.17 吹气供给
吹气供给吹气供给
吹气供给
Fig. 5.3 - 17 吹气供给