S 20 Series Maintenance I.pdf - 第226页
2000 年 6 月版 S 2 0 系列维修培训指南 I 5 旋转头 54 警 告 !! 安装阀体 时 要当心 阀体内 的缺 口 和 Star 旋转轴基 座 上的 O 形 圈 缺 口 可用作 阀体 的导向 滑槽 注意 真空 管 必 须精 确 切 割 以 保 证 其 能够装 入段位器导向 滑槽内 而 不 扭曲 警 告 !! 软管 不 得与相 邻 的真空 软管 发 生磨 擦
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
5 旋转头
53
5.3.8
5.3.85.3.8
5.3.8 更换真空 / 吹气压力阀和软管
更换真空 / 吹气压力阀和软管更换真空 / 吹气压力阀和软管
更换真空 / 吹气压力阀和软管
Fig. 5.3 - 8 真空 / 吹气压力阀和软管
图例
图例图例
图例
(1) Star 旋转轴部件
(2) O 形圈
(3) 软管
(4) 阀体
(5) 吹气供给
(6) 光栅读数盘轴
"
取下贴片头的前部
"
卸下 Star 旋转轴部件 ( 见 5.4.2 节 )
"
小心地从段位器导向滑槽上拆下真 空软管
"
松开两个槽头螺钉 (M1.5 x 4) 并取下阀体
"
注意安装在 Star 旋转轴基座内的 O 形圈
"
重新安装阀和真空软管时 按照相反的操作顺序进行
"
安装 Star 旋转轴部件的步骤 见第 5.4.3 节 记录下 Star 旋转轴零点校正值
2000 年 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
5 旋转头
54
警告
!!
安装阀体时 要当心阀体内的缺口和 Star 旋转轴基座上的 O 形圈 缺口可用作阀体的导向滑槽
注意
真空管必须精确切割 以保证其能够装入段位器导向滑槽内而不扭曲
警告
!!
软管不得与相邻的真空软管发生磨擦
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
5 旋转头
55
5.3.9
5.3.95.3.9
5.3.9 更换中间分配器板
更换中间分配器板更换中间分配器板
更换中间分配器板
5
55
5
Fig. 5.3 - 9 拆卸中间分配器板
图例
图例图例
图例
(1) 中间分配器板
(2) 3 x M3x5 内六角螺钉
(3) M3x15 隔板螺栓
(4) 气压压力传感器
(5) 头板
5
3
1
4
2
2
2