S 20 Series Maintenance I.pdf - 第440页
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版 8 校准 91 8.8.6 段位器上 偏 移 段位器上 偏 移 段位器上 偏 移 段位器上 偏 移 (I) 段位器上 偏 移或 者 段位器 偏 移1就 是元 件 照 相机和段 位器或 吸嘴转轴之间 的 距离 顺 序 顺 序 顺 序 顺 序 校准工具被 吸 起 由 元 件 照 相机 对中 对校准工具位置进 行 精 确测 量 校准工具 由 DP 站 转 动到 90 然 后 Star…
2000 年 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
8 校准
90
8.8.5
8.8.58.8.5
8.8.5 校准元件照相机
校准元件照相机校准元件照相机
校准元件照相机
在把校准工具与中心十字基准对中后 就测量 4 个元件基准
对左边 2 个中心元件基准进行测量 然后 Star 旋转轴移动某个距离
8
Fig. 8.8 - 9 校准工具与中心十字基准对中
然后再测量这两个基准
相对于 Star 旋转轴转动距离 的 CCD 传感器的安装角度进行测量
同时也测量了像素尺寸 单位为
nm
8
Fig. 8.8 - 10 校准工具与中心十字基准对中
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
8 校准
91
8.8.6 段位器上偏移
段位器上偏移段位器上偏移
段位器上偏移 (I)
段位器上偏移或者段位器偏移1就是元件照相机和段位器或吸嘴转轴之间的距离
顺序
顺序顺序
顺序
校准工具被吸起 由元件照相机对中
对校准工具位置进行精确测量
校准工具由 DP 站转动到 90 然后 Star 旋转轴运动回到照相机位置
校准工具位置再一次进行测量
在 180 和 270 处 重复此顺序
从 0 和180 得出的结果 对段位器偏移进行了计算 对于 90 和 270 得出的结果 进行
了对计算的似乎合理性 ( 似然性 ) 校核
段位器偏移存储在 PIP_OFF.MA 文件中
8
Fig. 8.8 - 11 实际 吸嘴位置和照相机中心的例子
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
8 校准
91
8.8.6 段位器上偏移
段位器上偏移段位器上偏移
段位器上偏移 (I)
段位器上偏移或者段位器偏移 1 就是元件照相机和段位器或吸嘴转 轴之间的距离
顺序
顺序顺序
顺序
校准工具被吸起 由元件照相机对中
对校准工具位置进行精确测量
校准工具由 DP 站转动到 90° 然后 Star 旋转轴运动回到照相机位置
校准工具位置再一次进行测量
在 180° 和 270° 处 重复此顺序
从 0° 和 180° 得出的结 果 对段位器 偏移进行了计算 对于 90° 和 270° 得出的 结果 进行了
对计算的似乎合理性 ( 似然性 ) 校核
段位器偏移存储在 PIP_OFF.MA 文件中
8
Fig. 8.8 - 11 实际吸嘴位置和照相机中心的例子