S 20 Series Maintenance I.pdf - 第285页
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版 6 IC 头 13 6.4 6.4 6.4 6.4 拆卸 和 重新 安装 IC 头 拆卸 和 重新 安装 IC 头 拆卸 和 重新 安装 IC 头 拆卸 和 重新 安装 IC 头 6.4.1 工 具 工 具 工 具 工 具 设备 设备 设备 设备 6.4.2 备件 备件 备件 备件 6.4.3 6.4.3 6.4.3 6.4.3 拆卸 IC 头 拆卸 IC 头 拆卸 IC 头 拆卸…

2000 年 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
6 IC 头
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6.3.5.2 IC 头板
头板头板
头板
IC 头板包括真空分析装置
轴 IC 头电磁阀等的锁式插座
Fig. 6.3 - 2 IC
头板 真空传感器 接头和测量点

S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
6 IC 头
13
6.4
6.46.4
6.4 拆卸和重新安装 IC 头
拆卸和重新安装 IC 头拆卸和重新安装 IC 头
拆卸和重新安装 IC 头
6.4.1 工具
工具工具
工具 设备
设备设备
设备
6.4.2 备件
备件备件
备件
6.4.3
6.4.36.4.3
6.4.3 拆卸 IC 头
拆卸 IC 头拆卸 IC 头
拆卸 IC 头
-
拆下所有电缆和空气软管
-
松开 4 个用来固定 IC 头的螺钉
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拿走 IC 头并将其固定在 IC 头的安装架上
件号
槽头螺丝改锥一套
IC 头用安装架
00318295-01
SITEST 程序 V ≥ 203.000
测试箱
调整说明
件号
IC 头用 CAN 总线 00322583S01

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6 IC 头
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6.4.4
6.4.46.4.4
6.4.4 安装 IC 头
安装 IC 头安装 IC 头
安装 IC 头
Fig. 6.4 - 1 F
IC 头固定螺钉
图例
图例图例
图例 .
-
用 4 个固定螺钉把 IC 头固定在适当位置 注意螺钉长度不一 !( 见第14 页 )
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插上通到 IC 头板 ( 见第12 页 ) 的电源电缆
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连接空气软管
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把 z 轴和 d 轴的零点校正值编入 MA 数据
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参考调整说明 检查伺服轴的动态特性并调整轴
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参照 IC 头 测量自动贴片机
(1) 六角头 螺钉 M4 x 25 (2) 六角头螺钉 M4 x 16
(3) 在贴片 头安装方向观察