S 20 Series Maintenance I.pdf - 第251页

S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版 5 旋转头 79 5.4.6 5.4.6 5.4.6 5.4.6 更 换 真空 / 吹气 压力阀 和 软管 更 换 真空 / 吹气 压力阀 和 软管 更 换 真空 / 吹气 压力阀 和 软管 更 换 真空 / 吹气 压力阀 和 软管 Fig. 5.4 - 5 真空 / 吹气 压力 阀 和 软管 图例 图例 图例 图例 (1) Star 旋转轴 部 件 (2) O 形 圈 (3) 软…

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2000 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
5 旋转头
78
5.4.5.1
5.4.5.15.4.5.1
5.4.5.1
设备
设备设备
设备
DIN 911 内六角板
Z 轴校准工 编号 00331308-01
5.4.5.2
5.4.5.25.4.5.2
5.4.5.2 安装
安装安装
安装
"
旋转头的前 Star 旋转
"
地提 Z 弹簧爪稍稍超出轨
注意
如果不能 Z 轴的弹簧爪放进此位置 可以把 2 M2.5x8 内六螺钉 5
55
5
"
Z 轴校准工具插入轨 A 的位置
"
内六螺钉把置停器定在适当位置
"
内六螺钉 以便上置
"
把置停内推 与置停器触为止
"
M2x4 内六螺钉固定置停
S 20 系列维修培训指南 I 2000 6 月版
5 旋转头
79
5.4.6
5.4.65.4.6
5.4.6 真空 / 吹气压力阀软管
真空 / 吹气压力阀软管真空 / 吹气压力阀软管
真空 / 吹气压力阀软管
Fig. 5.4 - 5 真空 / 吹气压力软管
图例
图例图例
图例
(1) Star 旋转轴
(2) O
(3) 软管
(4) 阀体
(5) 吹气供
(6) 光栅读数盘轴
2000 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
5 旋转头
80
"
取下贴片头的前
"
Star 旋转轴 ( 5.4.2 )
"
从段位器导向滑槽上拆下真空软管
"
螺钉 (M1.5 x 4) 并取下阀体
"
注意安装 Star 旋转轴基 O
"
安装阀和真软管 照相序进
"
安装 Star 旋转轴件的步 5.4.3 记录 Star 旋转点校正值
!!
安装阀体 要当心阀体内的缺 Star 旋转轴基上的 O 可用作阀体的导向滑槽
注意
真空须精 能够装入段位器导向滑槽内扭曲
!!
软管得与相的真空软管生磨