S 20 Series Maintenance I.pdf - 第225页
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版 5 旋转头 53 5.3.8 5.3.8 5.3.8 5.3.8 更 换 真空 / 吹气 压力阀 和 软管 更 换 真空 / 吹气 压力阀 和 软管 更 换 真空 / 吹气 压力阀 和 软管 更 换 真空 / 吹气 压力阀 和 软管 Fig. 5.3 - 8 真空 / 吹气 压力阀 和 软管 图例 图例 图例 图例 (1) Star 旋转轴 部 件 (2) O 形 圈 (3) 软管…
2000 年 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
5 旋转头
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5.3.7.1
5.3.7.15.3.7.1
5.3.7.1
工具和设备
工具和设备工具和设备
工具和设备
一套 DIN 911 内六角板手
Z 轴校准工具 编号 00331308-01
5.3.7.2
5.3.7.25.3.7.2
5.3.7.2 安装
安装安装
安装
"
按照 5.3.1.1 说明 拆卸旋转头的前部和 Star 旋转轴
"
用手指小心地提升 Z 轴直至弹簧爪稍稍超出轨道圈
请注意
如果不能将 Z 轴的弹簧爪放进此位置 可以把 2 个 M2.5x8 的内六角螺钉松开 5
55
5
"
把 Z 轴校准工具插入轨道圈标记 A 的位置
"
用两个内六角螺钉把置停器固定在适当位置
"
松开内六角螺钉 以便装上置停块
"
把置停块向内推 直至与置停器接触为止
"
用 M2x4 内六角螺钉固定置停块
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
5 旋转头
53
5.3.8
5.3.85.3.8
5.3.8 更换真空 / 吹气压力阀和软管
更换真空 / 吹气压力阀和软管更换真空 / 吹气压力阀和软管
更换真空 / 吹气压力阀和软管
Fig. 5.3 - 8 真空 / 吹气压力阀和软管
图例
图例图例
图例
(1) Star 旋转轴部件
(2) O 形圈
(3) 软管
(4) 阀体
(5) 吹气供给
(6) 光栅读数盘轴
"
取下贴片头的前部
"
卸下 Star 旋转轴部件 ( 见 5.4.2 节 )
"
小心地从段位器导向滑槽上拆下真 空软管
"
松开两个槽头螺钉 (M1.5 x 4) 并取下阀体
"
注意安装在 Star 旋转轴基座内的 O 形圈
"
重新安装阀和真空软管时 按照相反的操作顺序进行
"
安装 Star 旋转轴部件的步骤 见第 5.4.3 节 记录下 Star 旋转轴零点校正值
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5 旋转头
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警告
!!
安装阀体时 要当心阀体内的缺口和 Star 旋转轴基座上的 O 形圈 缺口可用作阀体的导向滑槽
注意
真空管必须精确切割 以保证其能够装入段位器导向滑槽内而不扭曲
警告
!!
软管不得与相邻的真空软管发生磨擦