S 20 Series Maintenance I.pdf - 第227页
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版 5 旋转头 55 5.3.9 5.3.9 5.3.9 5.3.9 更 换 中间 分配 器板 更 换 中间 分配 器板 更 换 中间 分配 器板 更 换 中间 分配 器板 5 5 5 5 Fig. 5.3 - 9 拆 卸 中间 分配 器板 图例 图例 图例 图例 (1) 中间 分配 器板 (2) 3 x M3 x 5 内六 角 螺钉 (3) M3 x 1 5 隔 板 螺 栓 (4) …

2000 年 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
5 旋转头
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警告
!!
安装阀体时 要当心阀体内的缺口和 Star 旋转轴基座上的 O 形圈 缺口可用作阀体的导向滑槽
注意
真空管必须精确切割 以保证其能够装入段位器导向滑槽内而不扭曲
警告
!!
软管不得与相邻的真空软管发生磨擦

S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版
5 旋转头
55
5.3.9
5.3.95.3.9
5.3.9 更换中间分配器板
更换中间分配器板更换中间分配器板
更换中间分配器板
5
55
5
Fig. 5.3 - 9 拆卸中间分配器板
图例
图例图例
图例
(1) 中间分配器板
(2) 3 x M3x5 内六角螺钉
(3) M3x15 隔板螺栓
(4) 气压压力传感器
(5) 头板
5
3
1
4
2
2
2

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5 旋转头
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5.3.9.1
5.3.9.15.3.9.1
5.3.9.1拆卸中间分配器板
拆卸中间分配器板拆卸中间分配器板
拆卸中间分配器板
"
关掉贴片系统并将其固定 以防被重新打开
"
取下防护罩
"
松开 3 个 M3x5 内六角螺钉 ( 见图 5.3-9 中 2)
"
卸掉 2 个 M3x15 隔板螺栓 ( 图 5.3-9 中 3) 并稍微倾斜 PCB ( 图 5.3-9 中1)
"
小心地从气压压力传感器 ( 见图 5.3-9 中 4) 中卸下软管
"
从板上的槽取下下列插头
"
卸下中间分配器板
5.3.9.2
5.3.9.25.3.9.2
5.3.9.2 安装中间分配器板
安装中间分配器板安装中间分配器板
安装中间分配器板
"
按照 5.3.9.1 说明 恢复 X1... X12 连接
"
把软管推入气压压力传感器管中 ( 见图 5.3-9 中 4)
"
将中间分配板安装到适当位置 ( 见图 5.3-9 中 2)
"
将把防护罩安装到头上
"
打开贴片系统 并将其起动
X1
位于头板上
X14
带状电缆
X2 位于头板上 X13 带状电缆
X3
Z 轴电机 / 测速连接
X4
Z 轴测量系统连接
X5
Star 旋转轴的电机连接
X6
吹气压力 阀的连接
X7 dp 轴的测量系统连接
X10
Z 轴上位 光电传感器 步进电机 的连接
X11
Z 轴下位 光电传感器的连接
X12
Star 旋转轴的测量系统连接
Tab. 5.3 - 2 拆卸中间分配器板