S 20 Series Maintenance I.pdf - 第199页
S 20 系列维修培训指南 I 2000 年 6 月版 5 旋转头 27 5. 1 .24 5. 1 .24 5. 1 .24 5. 1 .24 拾取 顺 序 拾取 顺 序 拾取 顺 序 拾取 顺 序 Z 轴上位 Z 轴上位 Z 轴上位 Z 轴上位 Fig. 5. 1 - 2 1拾 取 顺 序 Z 轴上 位 下位光 电 传 感 器 ( LB ) 开 关 终止信号 使 Z 轴下 位定位 阀门电 机至真空位 置 这 两 个动作是 否 都 已…
2000 年 6 月版 S 20 系列维修培训指南 I
5 旋转头
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5.1.23
5.1.235.1.23
5.1.23 拾取顺序
拾取顺序拾取顺序
拾取顺序 -Z 轴下位
-Z 轴下位-Z 轴下位
-Z 轴下位
Fig. 5.1 - 20 拾取顺序 Z 轴下位
启动悬臂轴至下一个供料器的拾取 位置 并与供料台通讯
至悬臂轴的起动信号
下一个供料信号 / 打开料盖
X, Y 和旋转轴的终止信号
段位器是否密封 ?
所有 3 个终止信号都有了
Z 轴起动
Z 轴开始向下定位
上位光电传感器 LB 开关
允许下位光电传感器开关 LB 动作
下位光电传感器 (LB) 开关
终止信号使 Z 轴下位定位 阀门电机到真空位置
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5 旋转头
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5.1.24
5.1.245.1.24
5.1.24 拾取顺序
拾取顺序拾取顺序
拾取顺序 Z 轴上位
Z 轴上位Z 轴上位
Z 轴上位
Fig. 5.1 - 21拾取顺序 Z 轴上位
下位光电传感器 (LB) 开关
终止信号使 Z 轴下位定位 阀门电机至真空位 置
这两个动作是否都已完成 ?
起动信号向上运动
Z - 轴起动
使 Z 轴向上运动至适当位置
上位光电传感器 (LB) 开关
复位下位光电传感器 (LB) 信号
进行第一次真空检测 元件是否已拾取好 ?
( 检测通过 返回 OK 信号 ) 悬臂轴的允许信号
与供料台的通信
关闭料盖 并供料器进料
Z 轴终止信号
Z 轴在零位 DP 站旋转停止
进行第二次真空检测 元件是否已拾取好 ?
允许旋转轴起动
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5 旋转头
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5.1.25
5.1.255.1.25
5.1.25 Z 轴下位的特殊模式
Z 轴下位的特殊模式Z 轴下位的特殊模式
Z 轴下位的特殊模式 上位真空
上位真空上位真空
上位真空
用于使用列在 VAC_Z.ma 上吸嘴的元件
Fig. 5.1 - 22 z 轴下降的特殊模式 上位真空
启动悬臂轴至下一个供料器的拾取 位置 并与供料台通讯
至悬臂轴的起动信号
下一个供料信号 / 打开料盖
X
Y 轴 旋转轴的终止信号
所有 3 个终止信号都有了
段位器是否密封
Z 轴起动
Z 轴开始向下定位
上位光电传感器
LB 开关
允许下位光电传感器开关 LB 动作
特殊顺序 阀门电机转换到真空
下位光电传感器 (LB) 开关
终止信号使 Z 轴向下定位
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