SI-F130_操作说明.pdf - 第181页
操作篇 操作篇 操作篇 操作篇 5. 手动操作 SI-F130 5-15 5.2 基板搬送操 作 基板搬送操 作 基板搬送操 作 基板搬送操 作 进行把基板从前装置 搬入到后装置搬出的一系列 流程。 大致分为基板搬送轨 道操作、基板操作 2 项操作。 5.2.1 基板搬送轨 道的操作 基板搬送轨道的操作 基板搬送轨道的操作 基板搬送轨道的操作 轨道马达的驱动。分 别执行决定基板至装着位置 ( 前进端面 ) 的固定板的 上下动作，在装着位…
操作篇
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5. 手动操作
5-14
SI-F130
5.1.6 服务器轴的操作
服务器轴的操作服务器轴的操作
服务器轴的操作
[ 概要 ]
如关闭全部服务器马达驱动轴的伺服电源时，打开安全门后，可直接用手拉推移动装着吸嘴头及
移动各轴，其可控制
X 轴、Y 轴、H 轴、FF 轴、FR 轴、RT 轴、RN 轴各轴的服务器马达驱动
轴。
[ 操作顺序 ]
[1]
关闭全部服务器轴时，点击 伺服器 ( 服务器 ) 框内的 關閉 ( 关闭 ) 钮。
[2] 开启全部服务器轴时，点击 開 ( 开启 ) 钮。
图
5.1.6
軸操作畫面－ 伺服器開關 / 開
(
轴操作画面－ 服务器开关
/
开启
)
钮
口
啟
口
啟
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
SI-F130
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5.2 基板搬送操作
基板搬送操作基板搬送操作
基板搬送操作
进行把基板从前装置搬入到后装置搬出的一系列流程。
大致分为基板搬送轨道操作、基板操作
2 项操作。
5.2.1 基板搬送轨道的操作
基板搬送轨道的操作基板搬送轨道的操作
基板搬送轨道的操作
轨道马达的驱动。分别执行决定基板至装着位置 ( 前进端面 ) 的固定板的上下动作，在装着位置保持
装着高度的固定板装置的上下动作，基板位置定位的基准针的上下动作，轨道上保持基板的夹板的
上下动作等。
在基板的搬送操作中，分别执行下述操作。
5.2.1.1 搬入轨道运转
搬入轨道运转搬入轨道运转
搬入轨道运转
让搬入轨道运转。
5.2.1.2 装着轨道运转
装着轨道运转装着轨道运转
装着轨道运转
让装着轨道运转。
5.2.1.3 搬出轨道运转
搬出轨道运转搬出轨道运转
搬出轨道运转
让搬出轨道运转。
5.2.1.4 固定板装置操作
固定板装置操作固定板装置操作
固定板装置操作
把基板上升到装着位置的装着高度。
让固定板装置运转。
5.2.1.5 基准针操作
基准针操作基准针操作
基准针操作
让决定基板位置的基准针在固定板装置上下动作。
5.2.1.6 停止器操作
停止器操作停止器操作
停止器操作
让使基板停止在装着位置的停止器上下动作。
5.2.1.7 轨道宽度的调整
轨道宽度的调整轨道宽度的调整
轨道宽度的调整
调整到与生产基板的宽度相符的轨道宽度。
5.2.1.8 基板搬送状态的表示
基板搬送状态的表示基板搬送状态的表示
基板搬送状态的表示
在基板搬送画面上用颜色来表示各装置的状态。
5.2.1.9 排出器的移动
排出器的移动排出器的移动
排出器的移动
使排出器运转。
5.2.1.10 排出器的操作 （上升
排出器的操作 （上升排出器的操作 （上升
排出器的操作 （上升 / 下降）
下降）下降）
下降）
升降排出器针。
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
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SI-F130
5.2.2 基板操作
基板操作基板操作
基板操作
执行基板搬出搬入和基板定位的一系列动作。
5.2.2.1 基板定位操作
基板定位操作基板定位操作
基板定位操作
执行基板定位、解除基板定位的操作 （整体操作）。
5.2.2.2 基板搬入、搬出操作
基板搬入、搬出操作基板搬入、搬出操作
基板搬入、搬出操作
执行基板搬入·搬出操作。
5.2.1 基板搬送轨道的操作
基板搬送轨道的操作基板搬送轨道的操作
基板搬送轨道的操作
[ 概要 ]
调整驱动部关系着基板搬送及至装着位置的定位。
可个别操作执行如下。
·轨道马达的驱动
·决定基板装着位置 （前进端）停止器的升降
·根据装着位置在装着高度保持基板固定板的升降
·决定基板位置基准针的升降等。
[ 操作顺序 ]
依顺序点击 手動操作 ( 手动操作 ) 画面 → 基板搬送 ( 基板搬送 ) 子目绿。会表示以下的画面。
基板的进行方向在
SI-F130
有左流程 （→）及右流程 （←）
2
种规格。依规格会出现不同画
面。
图
5.2.1
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
画面
选择右流规格时的 基板搬送 ( 基板搬送 ) 画面
注意
注意注意
注意 :