SI-F130_操作说明.pdf - 第187页

操作篇 操作篇 操作篇 操作篇 5. 手动操作 SI-F130 5-21 (1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （轨道宽度） 在 軌道寬度絕對位置 ( 轨道宽度绝对 位置 ) 框中操作 ▲ ▼ 的调整钮 , 指定目标宽度 。 按操作面板的 ST AR T 钮。移动轨道至 目标宽度。 轨道移动 中，按操作面板的 STOP 钮时，立即 停止。再次按 ST ART 钮时，再 开始移动至目 标位置。 但是，使用手动控制器移动 轴时，按 S…

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操作篇
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操作篇
5. 手动操作
5-20
SI-F130
5.2.1.7
轨道宽度调整
轨道宽度调整轨道宽度调整
轨道宽度调整
开始轨道宽度的调整前，请确认轨道上已无基板。在轨道上有基板时，请全部取除。
依顺序点击
手動操作 ( 手动操作 ) 画面 → 基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签，点击画面上的本文框中
軌道寬度調整 ( 轨道宽度调整 ) 钮，会表示以下 軌道寬度調整 ( 轨道宽度调整 ) 对话框 M 。
图
5.2.1.7-1
軌道寬度調整
(
轨道宽度调整
)
画面
按操作面板的 ORG 键，轨道宽度回复至原点的位置。
在执行轨道宽度调整操作的前，有时轨道宽度必须回复到原点位置。
由 軌道寬度調整 ( 轨道宽度调整 ) 对话框的 移動模式 ( 移动模式 ) 框中，点击 絕對座標移動
(
绝对坐标移动 ) 、 相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) 、 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) 任一希望
的钮。
·所谓
絕對座標移動
(
绝对坐标移动
)
是将轨道的基准点设为原点，由原点移动至表示的目标
宽度
,
现在位置无论在何处，都可移动至目标的宽度。
·所谓
相對座標移動
(
相对坐标移动
)
是将现在的宽度设为起点，只移动指定的值。即使相同
移动值，若改变现在的宽度时，所得到轨道的宽度也不相同。
·所谓
微調動作移動
(
微调动作移动
)
是使用游标执行移动
,
按游标并立即放开时会立即微
动，连续按时
,
则连续移动。
·
軌道寬度絕對位置
(
轨道宽度绝对位置
)
的本文框中，只能输入数值，无法变更轨道宽度。
依下列步骤按
START
钮，执行轨道移动。
在绝对坐标移动及相对坐标移动的各个对话框中，输入到达位置或移动量的数值 ( 上述 N)，移
动输入的值后，的轨道宽度为表示出轨道宽度的值，若与
基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签画面中表
示的轨道宽度的值有误差时，请参照表示在
基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签画面上实际位置。
注意
注意注意
注意 :
注意
注意注意
注意 :
N
M
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
SI-F130
5-21
(1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （轨道宽度）
在
軌道寬度絕對位置 ( 轨道宽度绝对位置 ) 框中操作 ▲ ▼ 的调整钮 , 指定目标宽度。
按操作面板的
START 钮。移动轨道至目标宽度。
轨道移动中，按操作面板的
STOP
钮时，立即停止。再次按
START
钮时，再开始移动至目
标位置。但是，使用手动控制器移动轴时，按
STOP
键停止移动后，若不再次设定目标位置，
则即使按
START
钮亦不移动，故需要注意。
(2) 相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) （轨道宽度）
操作
▲ ▼ 的调整钮，指定由现在轨道宽度开始移动的距离。
按操作面板的
START 钮时，轨道只移动指定的距离。
正
(+) 值时轨道宽度变大、负 (-) 值时轨道宽度变窄。
轨道移动中，按操作面板的
STOP
钮时，立即停止。再次按
START
钮时，再开始移动至目
标位置。
注意
注意注意
注意 :
注意
注意注意
注意 :
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
5-22
SI-F130
(3) 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （轨道宽度）
指定微调动作移动时，会出现以下的
軌道寬度調整 ( 轨道宽度调整 ) 对话框。
图
5.2.1.7-2
軌道寬度調整
(
轨道宽度调整
)
画面
轨道宽度移动的顺序如下。
[1] 指定移动速度。
以下的
2 种方法可指定移动速度。
方法
1：按键盘的 SHIFT 键。
方法
2：点击 高速 ( 高速 ) 钮或 低速 ( 低速 ) 钮。
→指定 高速 ( 高速 ) / 低速 ( 低速 ) 的切换。
前门或后门中任一门打开
，
或互锁开关关闭时
,
为了安全
,
无法选择
高速
(
高速
)
。
[2] 按键盘的游标 （ ↑ ↓ ）
→
往按下的游标方向移动轨道。有时按游标键其轨道却无反应，此时若改变按键时机即可操作。
提示
·
按游标立即放开时，只稍稍移动 1 点 ( 寸移动 )。
· 按着游标时，轨道则连续移动。
注意
注意注意
注意 :