SI-F130_操作说明.pdf - 第526页
保养篇 保养篇 保养篇 保养篇 2. 维修检查 2-72 SI-F130 (2) 基板搬送轨道皮带的 更换、张力的调整方法 i) 装着轨道驱动皮带 ( 移动、固定侧 ) [ 作业顺序 ] 1. 旋松 2 处固定张力 滑轮板的螺丝。 2. 更换皮 带时更换皮带。 3. 反复确 认将皮带安装到了滑轮沟里，将张力 滑轮板滑动到上侧，加适当 张力将固定螺丝拧 紧。 适当张力的标准是 : 用手按，会 因弹力而迸开。 张力滑 轮板
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保养篇保养篇
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2. 维修检查
SI-F130
2-71
2.7 运作不良时
运作不良时运作不良时
运作不良时
(1) 机械阀交换
[ 作业顺序 ]
1. 旋松安装机械阀的螺丝 （上下共 2 个）。从吸嘴头上卸下机械阀。
2. 在机械阀上安装上过滤器、衬垫。
3. 重合机械阀定位针和吸嘴头定位孔，将机械阀安装到吸嘴头上。
4. 拧紧机械阀的安装螺丝 （下），用扭矩 5kgf· cm 拧紧，顺次拧紧机械阀的安装螺钉
（上），用扭矩
5kgf· cm 拧紧。
·机械阀交换时，请使真空泵电源为
OFF
。
·作业结束后，请确认真空泵电源为
ON
。
过滤器
衬垫
固定弹簧
( 上 )
定位针
固定弹簧
( 下 )
气缸部
注意
注意注意
注意 :
保养篇
保养篇保养篇
保养篇
2. 维修检查
2-72
SI-F130
(2) 基板搬送轨道皮带的更换、张力的调整方法
i) 装着轨道驱动皮带 ( 移动、固定侧 )
[
作业顺序 ]
1. 旋松 2 处固定张力滑轮板的螺丝。
2. 更换皮带时更换皮带。
3. 反复确认将皮带安装到了滑轮沟里，将张力滑轮板滑动到上侧，加适当张力将固定螺丝拧
紧。
适当张力的标准是
: 用手按，会因弹力而迸开。
张力滑轮板
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2. 维修检查
SI-F130
2-73
ii）搬出搬入 C/V 皮带 ( 移动、固定侧 )
[
作业顺序 ]
1.
用前端有大 的螺丝刀，旋松张力滑轮。
2. 皮带交换时交换皮带。
3. 反复确认皮带安装到了滑轮沟里，移动张力滑轮加适当张力，拧紧张力滑轮。
iii）装着轨道皮带 ( 移动、固定侧 )
[
作业顺序 ]
1.
旋松 2 处张力板的固定螺丝。
2. 交换皮带时更换皮带。
3. 盖上张力板，加适当张力拧紧张力板固定螺丝。
4. 这时， ii) 所说明的搬入搬出 C/V 皮带的张力的松弛，一定按 ii) 的要领适当调整搬入搬出
C/V 皮带的张力。
放松侧
拉紧侧
张力滑轮
装着输送皮带
张力板
搬出搬入
C/V 皮带