SI-F130_操作说明.pdf - 第191页

操作篇 操作篇 操作篇 操作篇 5. 手动操作 SI-F130 5-25 (1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （排出器） 操作调整钮 ▲ ▼ ，通过 排出器絕對位置 ( 排出器绝对位置 ) 的对话框指定目标位置。 按操作面板的 ST AR T 钮。排出器移动 到目标的位置。 · 在移动排出器中 ，如果按操作面板的 STOP 钮，立即停 止。如果再次按 ST ART 钮，就再次 开 始移动到 目标位置。但是，使用手动 控制器移动轴…

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操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
5-24
SI-F130
5.2.1.9
排出器的移动
排出器的移动排出器的移动
排出器的移动
在排出器开始移动之前，请确认轨道上未搭载基板。
如果轨道上搭载基板就请全部卸下。
依顺序点击
手動操作 ( 手动操作 ) 菜单→ 基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签。点击画面上部的轨道框
中
排出器移動 ( 排出器移动 ) 钮。出现下面的 排出器移動 ( 排出器移动 ) 对话框。
图
5.2.1.9-1
排出器移動
(
排出器移动
)
画面
如果按操作面板 ORG 键，就执行排出器回复原点的位置。
从
排出器移動 (排出器移动 ) 对话框的 移动模式 框中，点击 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) 、
相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) 、 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) 任一希望的钮。
·所谓
絕對座標移動
(
绝对坐标移动
)
是将排出器的基准点设为原点，由原点移动至表示的目
标
,
现在位置无论在何处，都可移动至目标。
·所谓
相對座標移動
(
相对坐标移动
)
是将现在的设为起点，只移动指定的值。即使相同移动
值，若改变现在时，所得到轨道也不相同。
·所谓
微調動作移動
(
微调动作移动
)
是使用游标执行移动，按游标并立即放开时会立即微
动，连续按时
,
则连续移动。
·
排出器絕對位置
(
排出器绝对位置
)
的文本框中，只能输入数值，无法变更排出器。
依右项顺序按
START
钮，执行排出器移动。
注意
注意注意
注意 :
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
SI-F130
5-25
(1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （排出器）
操作调整钮
▲ ▼ ，通过 排出器絕對位置 ( 排出器绝对位置 ) 的对话框指定目标位置。
按操作面板的
START 钮。排出器移动到目标的位置。
·在移动排出器中，如果按操作面板的
STOP
钮，立即停止。如果再次按
START
钮，就再次开
始移动到目标位置。但是，使用手动控制器移动轴时，按
STOP
键停止移动后，若不再次设定
目标位置，即使按下
START
，亦不移动排出器，故需要注意。
(2) 相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) （排出器）
操作调整钮
▲ ▼ ，通过框指定从当前排出器位置开始移动的距离。
按操作面板的
START 钮。排出器仅移动指定的距离。
·在排出器移动中，如果按操作面板的
STOP
钮，立即停止。如果再次按
START
钮，就再
次开始移动至目标位置。
(3) 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （排出器）
如果指定微调动作移动，会出现以下的
排出器移動 ( 排出器移动 ) 对话框。
图
5.2.1.9-2
排出器移動
(
排出器移动
)
画面
注意
注意注意
注意 :
注意
注意注意
注意 :
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
5-26
SI-F130
排出器移动的顺序如下。
[1] 指定移动速度。
用以下的
2 种方法能指定移动速度。
方法
1：按下键盘 SHIFT 键。
方法
2：点击 高速 ( 高速 ) 钮或 低速 ( 低速 ) 钮。
→指定 高速 ( 高速 ) / 低速 ( 低速 ) 的切换。
前门或后门中任一个门打开，时或者互锁开关关闭时，为了安全，不能选择
高速
(
高速
)
。
[2] 请按键盘的游标键 （ ← → ）
→
在按游标键的方向，排出器移动。按游标键排出器也没有反应时，此时若改变按键时机即
可操作。
提示
·按一次游标键，立即放开，排出器仅稍稍移动一点 （寸移动）。
·按着游标键时，排出器则连续移动。
5.2.1.10 排出器的操作 （上升
排出器的操作 （上升排出器的操作 （上升
排出器的操作 （上升 / 下降）
下降）下降）
下降）
进行排出器操作。
使排出器针上升时
点击
排出器上昇 ( 排出器上升 ) 钮。排出器针上升至上限停止。
使排出器针下降时
点击
排出器下降 ( 排出器下降 ) 钮。排出器针下降至下限停止。
提示
关于排出器的表示颜色：
黄色：上升
白色：下降
注意
注意注意
注意 :