SI-F130_操作说明.pdf - 第193页
操作篇 操作篇 操作篇 操作篇 5. 手动操作 SI-F130 5-27 5.2.2 基板操作 基板操作 基板操作 基板操作 可操作确认基板的定 位及操作搬入·搬出的单独 动作，组合成一连贯动作 ( 整体动作 ) 。 5.2.2. 1 基板定位操 作 基板定位操作 基板 定位操作 基板定位操作 [ 概要 ] 操作基板定位时，执 行下列的一连贯动作 ( 整体动作 ) 。 基板定位 : 固定板装 置上升 （夹板）→ 基准针上升 基板定位解除…
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操作篇操作篇
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5. 手动操作
5-26
SI-F130
排出器移动的顺序如下。
[1] 指定移动速度。
用以下的
2 种方法能指定移动速度。
方法
1：按下键盘 SHIFT 键。
方法
2：点击 高速 ( 高速 ) 钮或 低速 ( 低速 ) 钮。
→指定 高速 ( 高速 ) / 低速 ( 低速 ) 的切换。
前门或后门中任一个门打开，时或者互锁开关关闭时，为了安全，不能选择
高速
(
高速
)
。
[2] 请按键盘的游标键 （ ← → ）
→
在按游标键的方向，排出器移动。按游标键排出器也没有反应时，此时若改变按键时机即
可操作。
提示
·按一次游标键，立即放开，排出器仅稍稍移动一点 （寸移动）。
·按着游标键时，排出器则连续移动。
5.2.1.10 排出器的操作 （上升
排出器的操作 （上升排出器的操作 （上升
排出器的操作 （上升 / 下降）
下降）下降）
下降）
进行排出器操作。
使排出器针上升时
点击
排出器上昇 ( 排出器上升 ) 钮。排出器针上升至上限停止。
使排出器针下降时
点击
排出器下降 ( 排出器下降 ) 钮。排出器针下降至下限停止。
提示
关于排出器的表示颜色：
黄色：上升
白色：下降
注意
注意注意
注意 :
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操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
SI-F130
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5.2.2 基板操作
基板操作基板操作
基板操作
可操作确认基板的定位及操作搬入·搬出的单独动作，组合成一连贯动作 ( 整体动作 )。
5.2.2.1 基板定位操作
基板定位操作基板定位操作
基板定位操作
[ 概要 ]
操作基板定位时，执行下列的一连贯动作 ( 整体动作 )。
基板定位
: 固定板装置上升 （夹板）→ 基准针上升
基板定位解除
: 基准针下降 → 固定板装置 （夹板）下降
[ 操作顺序 ]
依顺序点击 手動操作 ( 手动操作 ) 菜单 → 基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签，会显示以下的 基板搬送
(
基板搬送 ) 画面。
图
5.2.2.1
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
操作
基板定位时
点击
基板操作 ( 基板操作 ) 框内的 位置設定 ( 位置设定 ) 钮，开始一连贯的定位动作，以便在
装着位置内固定基板。
解除基板定位时
点击
基板操作 ( 基板操作 ) 框内的 解除 ( 解除 ) 钮，开始一连贯的解除动作，使基板成为可搬
出状态。
操作篇
5. 手动操作
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SI-F130
5.2.2.2
基板搬入·搬出的操作
[ 概要 ]
操作基板搬入·搬出时，执行下列一连贯的动作。
搬入操作 ：停止器上升 → 将基板由搬入轨道搬送至搬出轨道 → 基板定位的整体动作 → 停
止器下降
搬出操作 ：解除基板定位的整体动作
→ 搬出基板
[ 操作顺序 ]
依顺序点击 手動操作 ( 手动操作 ) 菜单 → 基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签，会显示以下的 基板搬送
(
基板搬送 ) 画面。
图
5.2.2.2
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
画面
要执行基板搬入操作
点击
基板操作 ( 基板操作 ) 框内 搬入 ( 搬入 ) 钮。执行一连贯的基板搬入动作并停止。
要执行基板搬出操作
点击
基板操作 ( 基板操作 ) 框内 搬出 ( 搬出 ) 钮。执行一连贯的基板搬出动作并停止。