SI-F130_操作说明.pdf - 第189页
操作篇 操作篇 操作篇 操作篇 5. 手动操作 SI-F130 5-23 5.2.1. 8 基板搬送状态的表 示 基板搬送状态的表 示 基板搬送状态的表 示 基板搬送状态的表 示 在基板搬送画面，用 表示色表示当前的状态。 ·关于轨道皮带 的表示颜色： 绿色：向搬出方 向移动 白色：停止 黄色：向搬入方 向移动 ·关于各按钮的文字 颜色： 黑色：可以操作 灰色：不能操作 ·装在轨道上的基 板用绿色表示。 ·固定板上的用多 孔的灰色长方形…
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
5-22
SI-F130
(3) 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （轨道宽度）
指定微调动作移动时，会出现以下的
軌道寬度調整 ( 轨道宽度调整 ) 对话框。
图
5.2.1.7-2
軌道寬度調整
(
轨道宽度调整
)
画面
轨道宽度移动的顺序如下。
[1] 指定移动速度。
以下的
2 种方法可指定移动速度。
方法
1：按键盘的 SHIFT 键。
方法
2：点击 高速 ( 高速 ) 钮或 低速 ( 低速 ) 钮。
→指定 高速 ( 高速 ) / 低速 ( 低速 ) 的切换。
前门或后门中任一门打开
，
或互锁开关关闭时
,
为了安全
,
无法选择
高速
(
高速
)
。
[2] 按键盘的游标 （ ↑ ↓ ）
→
往按下的游标方向移动轨道。有时按游标键其轨道却无反应，此时若改变按键时机即可操作。
提示
·
按游标立即放开时，只稍稍移动 1 点 ( 寸移动 )。
· 按着游标时，轨道则连续移动。
注意
注意注意
注意 :
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
SI-F130
5-23
5.2.1.8 基板搬送状态的表示
基板搬送状态的表示基板搬送状态的表示
基板搬送状态的表示
在基板搬送画面，用表示色表示当前的状态。
·关于轨道皮带的表示颜色：
绿色：向搬出方向移动
白色：停止
黄色：向搬入方向移动
·关于各按钮的文字颜色：
黑色：可以操作
灰色：不能操作
·装在轨道上的基板用绿色表示。
·固定板上的用多孔的灰色长方形表示。
·关于固定板、基准梢、停止器、夹板的表示颜色：
黄色：表示处于上升界限
白色：表示处于下降界限
·关于安装在轨道上的下述感应器开关状态的表示：
红色
LED 标记是
明亮状态：开
灰暗状态：关
基板搬入感应器
利用设置在基板搬入轨道入口的光学式感应器，检测能从前装置搬送来的基板。
基板搬出感应器
利用设置在基板搬出轨道出口的光学式感应器，检测可否在后装置搬送基板。
基板待机感应器
利用设置在基板搬入轨道出口的光学式感应器，检测可否在装着轨道搬送基板。
基板确认感应器
利用设置在基板装着轨道的装着位置的光学式感应器，检测是否可能从装着轨道到搬出轨道搬送
基板，固定板是否可以上升。
基板有无感应器
利用设置在基板装着轨道的装着位置的光学式感应器，检测固定板是否可以上升，是否可以矫正
装着基板。
基板确认通过感应器
利用设置在基板搬出轨道入口的光学式感应器，检测从装着轨道搬送来的基板。
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
5-24
SI-F130
5.2.1.9
排出器的移动
排出器的移动排出器的移动
排出器的移动
在排出器开始移动之前，请确认轨道上未搭载基板。
如果轨道上搭载基板就请全部卸下。
依顺序点击
手動操作 ( 手动操作 ) 菜单→ 基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签。点击画面上部的轨道框
中
排出器移動 ( 排出器移动 ) 钮。出现下面的 排出器移動 ( 排出器移动 ) 对话框。
图
5.2.1.9-1
排出器移動
(
排出器移动
)
画面
如果按操作面板 ORG 键，就执行排出器回复原点的位置。
从
排出器移動 (排出器移动 ) 对话框的 移动模式 框中，点击 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) 、
相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) 、 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) 任一希望的钮。
·所谓
絕對座標移動
(
绝对坐标移动
)
是将排出器的基准点设为原点，由原点移动至表示的目
标
,
现在位置无论在何处，都可移动至目标。
·所谓
相對座標移動
(
相对坐标移动
)
是将现在的设为起点，只移动指定的值。即使相同移动
值，若改变现在时，所得到轨道也不相同。
·所谓
微調動作移動
(
微调动作移动
)
是使用游标执行移动，按游标并立即放开时会立即微
动，连续按时
,
则连续移动。
·
排出器絕對位置
(
排出器绝对位置
)
的文本框中，只能输入数值，无法变更排出器。
依右项顺序按
START
钮，执行排出器移动。
注意
注意注意
注意 :