SI-F130_操作说明.pdf - 第505页
保养篇 保养篇 保养篇 保养篇 2. 维修检查 SI-F130 2-51 每 6 个月 (5) 基板搬送排出器皮带 的检查 [ 作业功能 ] 基板搬送排出器皮带 高速搬送基板。该正时皮带 出现异常会对基板搬送造成 很大影响，要进行定 期检查。 [ 维修检查 处 ] 基板搬送排出器皮带 [ 维修检查 时准备的物品 ] 无需特意准备 [ 作业顺序 ] 检查正时皮带上 是否有异常磨损·裂隙。有 异常情况下，请委托 我公司服务负责人进行更换 。…
保养篇
保养篇保养篇
保养篇
2. 维修检查
2-50
SI-F130
每 6 个月
(4) RN 轴正时皮带的检查
[ 作业功能 ]
RN 轴正时皮带是使吸嘴回转的。这个正时皮带的异常会给零件装着位置精度造成很大影响，要
进行定期检查。
[ 维修检查处 ]
RN 轴正时皮带
[ 维修检查时准备的物品 ]
无需特意准备
[ 作业顺序 ]
用手缓慢回转装着吸嘴头，检查正时皮带上是否有异常磨损·裂隙。有异常情况下，请委托我公
司服务负责人进行更换。
RN 轴正时皮带
保养篇
保养篇保养篇
保养篇
2. 维修检查
SI-F130
2-51
每 6 个月
(5) 基板搬送排出器皮带的检查
[ 作业功能 ]
基板搬送排出器皮带高速搬送基板。该正时皮带出现异常会对基板搬送造成很大影响，要进行定
期检查。
[ 维修检查处 ]
基板搬送排出器皮带
[ 维修检查时准备的物品 ]
无需特意准备
[ 作业顺序 ]
检查正时皮带上是否有异常磨损·裂隙。有异常情况下，请委托我公司服务负责人进行更换。
基板搬送排出器皮带
保养篇
保养篇保养篇
保养篇
2. 维修检查
2-52
SI-F130
每 6 个月
(6) 硅酮环的检查
[ 作业功能 ]
调查吸嘴保持力是否适当。
[ 维修检查处 ]
各内部旋转轴上硅酮环。
[ 作业顺序 ]
1. 手持吸嘴，使其缓缓下降。
2. 不要将吸嘴拔下，内部旋转轴即使下降一点也行。
3. 进行这个动作 4、 5 次，即使有一次不行也请交换硅酮环。
吸嘴