SI-F130_操作说明.pdf - 第506页
保养篇 保养篇 保养篇 保养篇 2. 维修检查 2-52 SI-F130 每 6 个月 (6) 硅酮环的检查 [ 作业功能 ] 调查吸嘴保持力是 否适当。 [ 维修检查处 ] 各内部旋转轴上硅 酮环。 [ 作业顺序 ] 1. 手持吸 嘴，使其缓缓下降。 2. 不要将 吸嘴拔下，内部旋转轴即使下降一点 也行。 3. 进行这 个动作 4 、 5 次， 即使有一次不行也请交换硅酮环。 吸嘴
保养篇
保养篇保养篇
保养篇
2. 维修检查
SI-F130
2-51
每 6 个月
(5) 基板搬送排出器皮带的检查
[ 作业功能 ]
基板搬送排出器皮带高速搬送基板。该正时皮带出现异常会对基板搬送造成很大影响，要进行定
期检查。
[ 维修检查处 ]
基板搬送排出器皮带
[ 维修检查时准备的物品 ]
无需特意准备
[ 作业顺序 ]
检查正时皮带上是否有异常磨损·裂隙。有异常情况下，请委托我公司服务负责人进行更换。
基板搬送排出器皮带
保养篇
保养篇保养篇
保养篇
2. 维修检查
2-52
SI-F130
每 6 个月
(6) 硅酮环的检查
[ 作业功能 ]
调查吸嘴保持力是否适当。
[ 维修检查处 ]
各内部旋转轴上硅酮环。
[ 作业顺序 ]
1. 手持吸嘴，使其缓缓下降。
2. 不要将吸嘴拔下，内部旋转轴即使下降一点也行。
3. 进行这个动作 4、 5 次，即使有一次不行也请交换硅酮环。
吸嘴
保养篇
2. 维修检查
SI-F130
2-53
每 6 个月
(7) 内部旋转轴回复弹簧更换
[ 作业顺序 ]
1.
将吸嘴头装置拿到操作侧 ( 容易进行交换作业的位置 )。
2. 卸下操作侧更换台车。
3. 准备用来交换的弹簧。
内部旋转轴回复弹簧有内侧·外侧
2
种，请注意不要准备了同样的。
4. 缓慢拔出内部旋转轴弹簧押头的调节螺丝 (H2 × 2 根 )。
5. 卸下内部旋转轴回复弹簧。
·内部旋转轴回复弹簧内侧·外测两根是重叠的，请注意。
·请用手押内部旋转轴，以免其掉下来。
6. 请从内部旋转轴上端，装入内部旋转轴回复弹簧。
7. 内部旋转轴弹簧押头安装到内部旋转轴上，安上调节螺丝 (H2 × 2 根 )，用扭矩
1.5kgf· cm 拧紧。
请用手按住内部旋转轴，确认仅在弹簧力作用下，就能顺利回复。
请一定要让内部旋转轴弹簧押头碰到底端安装，如果在中间位置，就会与
H
轴推杆相干扰，
导致吸着率恶化和装着歪斜。
注意 :
注意 :
注意 :
内部旋转轴弹簧押头
内部旋转轴回复弹簧
（２个种类
)
警告 :
!