SI-F130_操作说明.pdf - 第583页
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调试篇
3. 空气源的连接和真空泵的运转
3-2
SI-F130
3.2 真空泵的运转
真空泵的运转真空泵的运转
真空泵的运转
[ 操作功能 ]
SI-F130 内置了零件吸着用真空泵。让真空泵运转。
[ 操作顺序 ]
1. 按电源开启 / 关闭的开关 。
关闭
SI-F130 前面右侧的主电流断路器。
关闭工厂侧总电源。
2. 开启 SI-F130 前面下部的盖子。
若
SI-F130 前面下部设置的电源装置的真空泵用断路器关闭，就将其开启。
关闭
SI-F130 前面下部的盖子。
3. 开启工厂侧总电源
开启
SI-F130 前面右侧的主电流断路器。
按开启
/ 关闭的开关 。
确认真空泵回转，
SI-F130 后面右侧下部的 「VACUUM PUMP」真空压力计显示为
0.077MPa (60cmHg=0.79Kgf/cm
2
) 以上。
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