SI-F130_操作说明.pdf - 第525页
保养篇 保养篇 保养篇 保养篇 2. 维修检查 SI-F130 2-71 2.7 运作不良时 运作不良时 运作不良时 运作不良时 (1) 机械阀交换 [ 作业顺序 ] 1. 旋松安装 机械阀的螺丝 （上下共 2 个） 。从吸嘴头上卸下机械阀。 2. 在机械阀 上安装上过滤器、衬垫。 3. 重合机械 阀定位针和吸嘴头定位孔，将机械 阀安装到吸嘴头上。 4. 拧紧机械 阀的安装螺丝 （下） ，用扭矩 5kgf · cm 拧紧，顺次拧紧机械阀…
保养篇
2. 维修检查
2-70
SI-F130
10. 用手押入内部旋转轴，确认其能顺畅地运作。
11. 安装吸嘴。
内部轴弹簧押头
内部轴回复弹簧
(2 种类 )
保养篇
保养篇保养篇
保养篇
2. 维修检查
SI-F130
2-71
2.7 运作不良时
运作不良时运作不良时
运作不良时
(1) 机械阀交换
[ 作业顺序 ]
1. 旋松安装机械阀的螺丝 （上下共 2 个）。从吸嘴头上卸下机械阀。
2. 在机械阀上安装上过滤器、衬垫。
3. 重合机械阀定位针和吸嘴头定位孔，将机械阀安装到吸嘴头上。
4. 拧紧机械阀的安装螺丝 （下），用扭矩 5kgf· cm 拧紧，顺次拧紧机械阀的安装螺钉
（上），用扭矩
5kgf· cm 拧紧。
·机械阀交换时，请使真空泵电源为
OFF
。
·作业结束后，请确认真空泵电源为
ON
。
过滤器
衬垫
固定弹簧
( 上 )
定位针
固定弹簧
( 下 )
气缸部
注意
注意注意
注意 :
保养篇
保养篇保养篇
保养篇
2. 维修检查
2-72
SI-F130
(2) 基板搬送轨道皮带的更换、张力的调整方法
i) 装着轨道驱动皮带 ( 移动、固定侧 )
[
作业顺序 ]
1. 旋松 2 处固定张力滑轮板的螺丝。
2. 更换皮带时更换皮带。
3. 反复确认将皮带安装到了滑轮沟里，将张力滑轮板滑动到上侧，加适当张力将固定螺丝拧
紧。
适当张力的标准是
: 用手按，会因弹力而迸开。
张力滑轮板