SI-F130_操作说明.pdf - 第465页
保养篇 保养篇 保养篇 保养篇 2. 维修检查 SI-F130 2-1 1 每周 (3) 各感应器投受光面的 清理 [ 作业功能 ] 基板搬送输送带由于 常与基板发生摩擦从而产生 灰尘。所以要定期清理光学 感应器。 [ 维修检查 位置 ] 基板搬送输送带上根 据用途不同带有 8 个基板检出 感应器。 需要对各感应器投受 光面进行清理。 [ 维修检查 需要准备的对象 ] 干净抹布 [ 作业顺序 ] 用干净抹布对各感应 器投受光面上附着的灰…
保养篇
保养篇保养篇
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2. 维修检查
2-10
SI-F130
每周
(2) 输送带导向器的基板摩擦面检查
[ 作业功能 ]
基板搬送的导向器面上如果附着焊剂等异物，就会妨碍基板搬送的顺利进行。需要定期进行检
查·清理。
[ 维修检查位置 ]
搬入侧·搬出侧基板搬送输送带部分的搬送导向器的基板行进面
[ 维修检查中准备的对象 ]
干净抹布
[ 作业顺序 ]
检查搬入侧·搬出侧基板搬送输送带部分的搬送导向器的基板行进面是否附着有焊剂等异物。根
据需要进行清理。
基板行进面
搬送导向器
基板
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2. 维修检查
SI-F130
2-11
每周
(3) 各感应器投受光面的清理
[ 作业功能 ]
基板搬送输送带由于常与基板发生摩擦从而产生灰尘。所以要定期清理光学感应器。
[ 维修检查位置 ]
基板搬送输送带上根据用途不同带有 8 个基板检出感应器。
需要对各感应器投受光面进行清理。
[ 维修检查需要准备的对象 ]
干净抹布
[ 作业顺序 ]
用干净抹布对各感应器投受光面上附着的灰尘、脏物进行清理。
右流程规格 左流程规格
基板搬出感应器 基板搬入感应器
基板减速感应器 －
基板通过确认感应器 基板待机感应器
基板确认感应器 基板确认感应器
基板有无感应器 基板有无感应器
基板待机感应器 基板通过确认感应器
－ 基板减速感应器
基板搬入感应器 基板搬出感应器
右流程
前面侧
左流程
M
N
O
P
Q
R
S
T
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2. 维修检查
2-12
SI-F130
每周
(4) 基板搬送输送带的搬送皮带滑轮的检查
[ 作业功能 ]
输送带的搬送皮带滑轮的旋转如果不顺畅，就会对搬送皮带造成异常磨损。由于需要滑轮旋转顺
畅，所以定期对皮带滑轮进行检查。
[ 维修检查位置 ]
搬入侧·搬出侧输送带的搬送皮带滑轮 ( 总计 17 个 )
[ 维修检查需要准备的对象 ]
润滑油： 多用润滑油 ( 美国 Wynn Oil Company 制 )、干净抹布
[ 作业顺序 ]
驱动搬入侧·搬出侧输送带，在搬送皮带旋转时确认滑轮是否旋转顺畅。
如果旋转不顺畅，用润滑油对轴承进行润滑。此时，请注意不要让多余润滑油滴到机械内。如果
润滑油滴到机械内，立即用干净抹布擦除。
用润滑油进行润滑之后，旋转如果仍然不顺畅，请进行更换。
皮带滑轮
( 可动部 )
用润滑油进行润滑
滑轮