SI-F130_操作说明.pdf - 第188页
操作篇 操作篇 操作篇 操作篇 5. 手动操作 5-22 SI-F130 (3) 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （轨道宽度） 指定微调动作移动 时，会出现以下的 軌道寬度 調整 ( 轨道宽度调整 ) 对话框。 图 5.2. 1.7-2 軌道寬度 調整 ( 轨道宽度调 整 ) 画面 轨道宽度移动的顺 序如下。 [1] 指定移动速度。 以下的 2 种方法可指定移动速度。 方法 1 ：按键盘的 SHIFT 键。 方法 2 ：点击 高速 …
操作篇
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5. 手动操作
SI-F130
5-21
(1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （轨道宽度）
在
軌道寬度絕對位置 ( 轨道宽度绝对位置 ) 框中操作 ▲ ▼ 的调整钮 , 指定目标宽度。
按操作面板的
START 钮。移动轨道至目标宽度。
轨道移动中，按操作面板的
STOP
钮时，立即停止。再次按
START
钮时，再开始移动至目
标位置。但是，使用手动控制器移动轴时，按
STOP
键停止移动后，若不再次设定目标位置，
则即使按
START
钮亦不移动，故需要注意。
(2) 相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) （轨道宽度）
操作
▲ ▼ 的调整钮，指定由现在轨道宽度开始移动的距离。
按操作面板的
START 钮时，轨道只移动指定的距离。
正
(+) 值时轨道宽度变大、负 (-) 值时轨道宽度变窄。
轨道移动中，按操作面板的
STOP
钮时，立即停止。再次按
START
钮时，再开始移动至目
标位置。
注意
注意注意
注意 :
注意
注意注意
注意 :
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
5-22
SI-F130
(3) 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （轨道宽度）
指定微调动作移动时，会出现以下的
軌道寬度調整 ( 轨道宽度调整 ) 对话框。
图
5.2.1.7-2
軌道寬度調整
(
轨道宽度调整
)
画面
轨道宽度移动的顺序如下。
[1] 指定移动速度。
以下的
2 种方法可指定移动速度。
方法
1：按键盘的 SHIFT 键。
方法
2：点击 高速 ( 高速 ) 钮或 低速 ( 低速 ) 钮。
→指定 高速 ( 高速 ) / 低速 ( 低速 ) 的切换。
前门或后门中任一门打开
，
或互锁开关关闭时
,
为了安全
,
无法选择
高速
(
高速
)
。
[2] 按键盘的游标 （ ↑ ↓ ）
→
往按下的游标方向移动轨道。有时按游标键其轨道却无反应，此时若改变按键时机即可操作。
提示
·
按游标立即放开时，只稍稍移动 1 点 ( 寸移动 )。
· 按着游标时，轨道则连续移动。
注意
注意注意
注意 :
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
SI-F130
5-23
5.2.1.8 基板搬送状态的表示
基板搬送状态的表示基板搬送状态的表示
基板搬送状态的表示
在基板搬送画面，用表示色表示当前的状态。
·关于轨道皮带的表示颜色：
绿色：向搬出方向移动
白色：停止
黄色：向搬入方向移动
·关于各按钮的文字颜色：
黑色：可以操作
灰色：不能操作
·装在轨道上的基板用绿色表示。
·固定板上的用多孔的灰色长方形表示。
·关于固定板、基准梢、停止器、夹板的表示颜色：
黄色：表示处于上升界限
白色：表示处于下降界限
·关于安装在轨道上的下述感应器开关状态的表示：
红色
LED 标记是
明亮状态：开
灰暗状态：关
基板搬入感应器
利用设置在基板搬入轨道入口的光学式感应器，检测能从前装置搬送来的基板。
基板搬出感应器
利用设置在基板搬出轨道出口的光学式感应器，检测可否在后装置搬送基板。
基板待机感应器
利用设置在基板搬入轨道出口的光学式感应器，检测可否在装着轨道搬送基板。
基板确认感应器
利用设置在基板装着轨道的装着位置的光学式感应器，检测是否可能从装着轨道到搬出轨道搬送
基板，固定板是否可以上升。
基板有无感应器
利用设置在基板装着轨道的装着位置的光学式感应器，检测固定板是否可以上升，是否可以矫正
装着基板。
基板确认通过感应器
利用设置在基板搬出轨道入口的光学式感应器，检测从装着轨道搬送来的基板。