SI-F130_操作说明.pdf - 第194页
操作篇 5. 手动操作 5-28 SI-F130 5.2.2. 2 基板搬入·搬出的操作 [ 概要 ] 操作基板搬入·搬 出时，执行下列一连贯的动 作。 搬入操作 ：停止器上升 → 将基板由搬入 轨道搬送至搬出轨道 → 基板 定位的整体动作 → 停 止器下降 搬出操作 ：解除基板定位的 整体动作 → 搬出基板 [ 操作顺序 ] 依顺序点击 手動操作 ( 手动操作 ) 菜单 → 基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签， 会显示以下的 基板搬送 …
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
SI-F130
5-27
5.2.2 基板操作
基板操作基板操作
基板操作
可操作确认基板的定位及操作搬入·搬出的单独动作，组合成一连贯动作 ( 整体动作 )。
5.2.2.1 基板定位操作
基板定位操作基板定位操作
基板定位操作
[ 概要 ]
操作基板定位时，执行下列的一连贯动作 ( 整体动作 )。
基板定位
: 固定板装置上升 （夹板）→ 基准针上升
基板定位解除
: 基准针下降 → 固定板装置 （夹板）下降
[ 操作顺序 ]
依顺序点击 手動操作 ( 手动操作 ) 菜单 → 基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签，会显示以下的 基板搬送
(
基板搬送 ) 画面。
图
5.2.2.1
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
操作
基板定位时
点击
基板操作 ( 基板操作 ) 框内的 位置設定 ( 位置设定 ) 钮，开始一连贯的定位动作，以便在
装着位置内固定基板。
解除基板定位时
点击
基板操作 ( 基板操作 ) 框内的 解除 ( 解除 ) 钮，开始一连贯的解除动作，使基板成为可搬
出状态。
操作篇
5. 手动操作
5-28
SI-F130
5.2.2.2
基板搬入·搬出的操作
[ 概要 ]
操作基板搬入·搬出时，执行下列一连贯的动作。
搬入操作 ：停止器上升 → 将基板由搬入轨道搬送至搬出轨道 → 基板定位的整体动作 → 停
止器下降
搬出操作 ：解除基板定位的整体动作
→ 搬出基板
[ 操作顺序 ]
依顺序点击 手動操作 ( 手动操作 ) 菜单 → 基板搬送 ( 基板搬送 ) 标签，会显示以下的 基板搬送
(
基板搬送 ) 画面。
图
5.2.2.2
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
画面
要执行基板搬入操作
点击
基板操作 ( 基板操作 ) 框内 搬入 ( 搬入 ) 钮。执行一连贯的基板搬入动作并停止。
要执行基板搬出操作
点击
基板操作 ( 基板操作 ) 框内 搬出 ( 搬出 ) 钮。执行一连贯的基板搬出动作并停止。
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
SI-F130
5-29
5.3 输入
输入输入
输入 / 输出信号的显示
输出信号的显示输出信号的显示
输出信号的显示
可以显示输入输出信号的当前状态。
对
SI-F130 的设定、调整、保养、故障诊断等都有效。
执行这个操作需要有管理者以上的使用者层级。
关于输入
/
输出信号的明细情况，请参照
[
保养篇
3.
输入以及输出信号表
]
。
5.3.1 输入信号的状态表示
输入信号的状态表示输入信号的状态表示
输入信号的状态表示
[ 概要 ]
表示由 SI-F130 内部及前后装置所发出的输入信号。操作欲见的信号，有效诊断 SI-F130 的设
定、调整、维修及故障。
[ 操作顺序 ]
依顺序点击 手動操作 ( 手动操作 ) 菜单 → 輸出 / 輸入 ( 输出 / 输入 ) 标签 → 輸入 ( 输入 ) 标
签
, 会出现以下的 信號名稱 / 狀態 ( 信号名称 / 状态 ) 画面。
图
5.3.1
手動操作－ 輸 入 / 輸出
(
手动操作－ 输入
/
输出
)
画面
点击希望的 序列輸入 / 輸出 ( 序列输入 / 输出 ) 或 SY-MC 輸入 / 輸出 (SY-MC 输入 / 输出 )
钮。
使用在
裝置號碼 ( 装置号码 ) 框的 ▲ ▼ 调整钮，选择希望输入信号装置并表示输入信号的现
在状态。
[ 輸入 / 輸出 ( 输入 / 输出 ) 画面说明 ]
通过一览表显示已选定的装置号码名称的 16 项输入状态。显示信号名称的横向 LED 标志显示
信号灯
HIGH （ ON）状态和 LOW （ OFF）状态。
明亮的状态
: HIGH （ ON）状态
黑暗的状态
: LOW （ OFF）状态
右面
LOW/HIGH 2 框显示各自信号灯 HIGH （ ON）和 LOW （ OFF）状态。蓝色文字显示
当前的状态。
注意
注意注意
注意 :