SI-F130_操作说明.pdf - 第183页
操作篇 操作篇 操作篇 操作篇 5. 手动操作 SI-F130 5-17 5.2.1. 1 搬入轨道运转 （使用 搬入轨道运转 （使用 搬入轨道运转 （使用 搬入轨道运转 （使用 搬入軌道運轉 搬入軌道運轉 搬入軌 道運轉 搬入軌道運轉 ( 搬入轨道运转 搬入轨道运转 搬入 轨道运转 搬入轨道运转 ) 框） 框） 框） 框） 选择运转速度时，点 击 搬入軌道運轉 ( 搬入轨道运转 ) 框内的 高速 ( 高速 ) 或 低速 ( 低速 ) …
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
5-16
SI-F130
5.2.2 基板操作
基板操作基板操作
基板操作
执行基板搬出搬入和基板定位的一系列动作。
5.2.2.1 基板定位操作
基板定位操作基板定位操作
基板定位操作
执行基板定位、解除基板定位的操作 （整体操作）。
5.2.2.2 基板搬入、搬出操作
基板搬入、搬出操作基板搬入、搬出操作
基板搬入、搬出操作
执行基板搬入·搬出操作。
5.2.1 基板搬送轨道的操作
基板搬送轨道的操作基板搬送轨道的操作
基板搬送轨道的操作
[ 概要 ]
调整驱动部关系着基板搬送及至装着位置的定位。
可个别操作执行如下。
·轨道马达的驱动
·决定基板装着位置 （前进端）停止器的升降
·根据装着位置在装着高度保持基板固定板的升降
·决定基板位置基准针的升降等。
[ 操作顺序 ]
依顺序点击 手動操作 ( 手动操作 ) 画面 → 基板搬送 ( 基板搬送 ) 子目绿。会表示以下的画面。
基板的进行方向在
SI-F130
有左流程 （→）及右流程 （←）
2
种规格。依规格会出现不同画
面。
图
5.2.1
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
画面
选择右流规格时的 基板搬送 ( 基板搬送 ) 画面
注意
注意注意
注意 :
操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
SI-F130
5-17
5.2.1.1 搬入轨道运转 （使用
搬入轨道运转 （使用搬入轨道运转 （使用
搬入轨道运转 （使用 搬入軌道運轉
搬入軌道運轉搬入軌道運轉
搬入軌道運轉 ( 搬入轨道运转
搬入轨道运转搬入轨道运转
搬入轨道运转 ) 框）
框）框）
框）
选择运转速度时，点击
搬入軌道運轉 ( 搬入轨道运转 ) 框内的 高速 ( 高速 ) 或 低速 ( 低速 )
钮。
欲使搬出方向
欲使搬出方向欲使搬出方向
欲使搬出方向
( 正方向
正方向正方向
正方向 ) 的轨道动作时
的轨道动作时的轨道动作时
的轨道动作时
点击
搬入軌道運轉 ( 搬入轨道运转 ) 框内的 钮。搬入轨道开始运转。
欲使搬入方向
欲使搬入方向欲使搬入方向
欲使搬入方向
( 反方向
反方向反方向
反方向 ) 的轨道动作时
的轨道动作时的轨道动作时
的轨道动作时
点击
搬入軌道運轉 ( 搬入轨道运转 ) 框内的 钮。搬入轨道开始运转。
停止轨道时
停止轨道时停止轨道时
停止轨道时
点击
搬入軌道運轉 ( 搬入轨道运转 ) 框内的 ■ 钮。搬入轨道停止运转。
提示
关于轨道的表示颜色：
绿色：正方向 （搬出方向）运转
黄色：逆方向 （搬入方向）运转
白色：停止
5.2.1.2 装着轨道运转 （使用
装着轨道运转 （使用装着轨道运转 （使用
装着轨道运转 （使用 裝著軌道運轉
裝著軌道運轉裝著軌道運轉
裝著軌道運轉 ( 装着轨道运转
装着轨道运转装着轨道运转
装着轨道运转 ) 框）
框）框）
框）
运转速度的选择时，点击
裝著軌道運轉 ( 装着轨道运转 ) 框内的 高速 ( 高速 ) 或 低速 ( 低速 )
钮。
在搬出方向
在搬出方向在搬出方向
在搬出方向
( 正方向
正方向正方向
正方向 ) 使轨道运转时
使轨道运转时使轨道运转时
使轨道运转时
点击
裝著軌道運轉 ( 装着轨道运转 ) 框内的 钮。装着轨道开始运转。
在搬入方向
在搬入方向在搬入方向
在搬入方向
( 反方向
反方向反方向
反方向 ) 使轨道运转时
使轨道运转时使轨道运转时
使轨道运转时
点击
裝著軌道運轉 ( 装着轨道运转 ) 框内的 钮。装着轨道开始运转。
停止轨道运转时
停止轨道运转时停止轨道运转时
停止轨道运转时
点击
裝著軌道運轉 ( 装着轨道运转 ) 框内的 ■ 钮。装着轨道停止运转。
提示
关于轨道的表示颜色：
绿色：正方向 （搬出方向）运转
黄色：逆方向 （搬入方向）运转
白色：停止
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操作篇
操作篇操作篇
操作篇
5. 手动操作
5-18
SI-F130
5.2.1.3
搬出轨道运转 （使用
搬出轨道运转 （使用搬出轨道运转 （使用
搬出轨道运转 （使用 搬出軌道運轉
搬出軌道運轉搬出軌道運轉
搬出軌道運轉 ( 搬出轨道运转
搬出轨道运转搬出轨道运转
搬出轨道运转 ) 框）
框）框）
框）
运转速度的选择时，点击
搬出軌道運轉
搬出軌道運轉搬出軌道運轉
搬出軌道運轉 ( 搬出轨道运转 ) 框内的 高速 ( 高速 ) 或 低速 ( 低速 )
钮。
在搬出方向
在搬出方向在搬出方向
在搬出方向
( 正方向
正方向正方向
正方向 ) 使轨道运转时
使轨道运转时使轨道运转时
使轨道运转时
点击
搬出軌道運轉 ( 搬出轨道运转 ) 框内的 钮。搬出轨道开始运转。
在搬入方向
在搬入方向在搬入方向
在搬入方向
( 反方向
反方向反方向
反方向 ) 使轨道运转时
使轨道运转时使轨道运转时
使轨道运转时
点击
搬出軌道運轉 ( 搬出轨道运转 ) 框内的 钮。搬出轨道开始运转。
停止轨道运转时
停止轨道运转时停止轨道运转时
停止轨道运转时
点击
搬出軌道運轉 ( 搬出轨道运转 ) 框内的 ■ 钮。搬出轨道停止运转。
提示
关于轨道的表示颜色：
绿色：正方向 （搬出方向）运转
黄色：逆方向 （搬入方向）运转
白色：停止
5.2.1.4 固定板装置操作
固定板装置操作固定板装置操作
固定板装置操作
在装着位置矫正基板弯曲的固定板装置的操作。
使固定板装置上升时
使固定板装置上升时使固定板装置上升时
使固定板装置上升时
点击装置图旁的
固定板上昇 ( 固定板上升 ) 钮。固定板装置上升并停止在上升端。
使固定板装置下降时
使固定板装置下降时使固定板装置下降时
使固定板装置下降时
点击装置图旁的
固定板下降 ( 固定板下降 ) 钮。固定板装置下降并停止在下降端。
提示
有关固定板装置的表示色
:
黄色：上升
白色：下降
5.2.1.5 基准针操作
基准针操作基准针操作
基准针操作
操作基板位置定位的基准针。
使基准针上升时
使基准针上升时使基准针上升时
使基准针上升时
点击装置图旁的
基準梢上昇 ( 基准针上升 ) 钮。基准针上升并停止在上限。
使基准针下降时
使基准针下降时使基准针下降时
使基准针下降时
点击装置图旁的
基準梢下降 ( 基准针下降 ) 钮。基准针下降并停止在下限。
提示
有关基准针的表示色
:
黄色：上升
白色：下降
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