NXT2机械手册.pdf - 第222页
6. 预防保养 QD145-13 198 NXT II 机械手册 H12HS 工作 头 真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20 升降杆内部 - - ● - - - - - 35 升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10 Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5 机械阀的 O 型圈 - - ■ - - - ▲ -1 5 60 机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - …
QD145-13 6. 预防保养
NXT II 机械手册 197
H08 工作头 真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 25
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-10
40
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
H12(S) 工作
头
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
步进马达部分的凸轮 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
6. 预防保养 QD145-13
198 NXT II 机械手册
H12HS 工作
头
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
V12 工作头 镜子 ● - - - - ▲ - - 5
升降杆和升降杆内 O 型圈 - ★ - - - - - - 10
棱镜的玻璃用 - ★ - - - - - - 5
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - ★ - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
槽凸轮的槽 - - - - - - ★ - 5
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
QD145-13 6. 预防保养
NXT II 机械手册 199
搬运轨道 CZ 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 15
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道传送带张力 - - - - - - ■ ▲ *6 10
搬运轨道传送带 - - - - - - - ● *6
软支撑销 - - - - - - - ● *9
CZ 轴传送带张力 - - - - - - - ■ *10
搬运马达传送带张力 - - - - - - - ■ *6
变更宽度马达传送带张力 - - - - - - - ■ *11
XY 机械手
〈M3-2〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 2
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴 LM 导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴 LM 导轨 - - - - ★ - - - 5
XS 轴齿轮 - - - ★ - - - - 2
XS 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
XS轴LM导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ ★ - - - 10
XY 机械手
〈M6-2〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 2
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴 LM 导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴 LM 导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ ★ - - - 10
定位相机 光源内板透镜面 - - - - - ● - - 3
元件相机 玻璃罩面 ● - - - - - - - 2
光源内玻璃面 ● - - - - - - - 2
镜头 - - - - - ● - - 15
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )