NXT2机械手册.pdf - 第287页

QD145-13 6. 预防保养 NXT II 机械手册 263 6.10.2 真空泵过滤器的清扫 1. 拉 出模组。 （参考 「5.1 模组 的拉出 / 插入」 ） 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 取下基座上的盖板。 4. 将真空布管内设定为大气压。 5. 2M-2 基座的时候，按下面的步骤拆除 滤芯。 a. 松开滤器套下部的螺栓，将滤器套从主体 拆除。 b. 从主体拆除滤芯。 ⳳぎ⋉ 01MEC-0293S / ෎ᑻ Ⲫ…

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6. 预防保养 QD145-13
262 NXT II 机械手册
6.10 每 12000 小时的操作
6.10.1 湿气分离器的清扫
1. 拉出模组。（参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 关闭气源接入处的外部气源，此时配管内气压降低。
5. 拧松安装螺栓，拆下滤芯 Assy。
6. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重时，请更换新的部品。
备注 )请将滤芯 Assy 向上安装在有孔的一面。
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QD145-13 6. 预防保养
NXT II 机械手册 263
6.10.2 真空泵过滤器的清扫
1. 拉出模组。（参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 将真空布管内设定为大气压。
5. 2M-2 基座的时候，按下面的步骤拆除滤芯。
a. 松开滤器套下部的螺栓，将滤器套从主体拆除。
b. 从主体拆除滤芯。
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6. 预防保养 QD145-13
264 NXT II 机械手册
6. 4M-2 基座的时候，按下面的步骤拆除滤芯。
a. 按下过滤器套的锁定旋钮，旋转滤器套后从主体拆除。
b. 旋转滤芯盖板后拆除，取下滤芯。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。
8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重时更换新的部品。
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