NXT2机械手册.pdf - 第556页
9. 测定和调整 QD145-13 532 NXT II 机械手册 7. 按 下箭头键,设定数值 为 「-4P」 。 8 . 按 下1次M O D E按 键 后 决 定 。 9. 再 次按下 1 次 MODE 按键 。 10.关闭传感器放大器的盖罩,将模 组插入原来的位置。 (请参考 「5.1 模组的拉出 / 插 入 」。) 01MEC-0340J

QD145-13 9. 测定和调整
NXT II 机械手册 531
1. 将要调整的模组向前方拉出。(请参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」。)
2. 打开传感器放大器的盖罩。
3. 请把输入模式设定为 「L-on」(避光时 OFF)。
·请按下按键 (1),在 5 秒之内按下按键 (2)。
4. 其次进行灵敏度的设定。
·连续按下 MODE 按键 (3)3 秒左右,在按下 1 次后进入设定画面。
5. 按下 1 次箭头键 (无论在哪一边)后,切换到 「% 调整」。
6. 按下1次MODE按键。
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QD145-13 9. 测定和调整
NXT II 机械手册 533
9.3 模组用真空传感器的灵敏度调整
9.3.1 调整方法
1. 请向前方抽出要调整的模组。(请参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」。)要调整的模组在基
座的左端,而模组的左侧带有盖罩时,要将侧面的盖罩取下以腾出传感器附近的空间。
2. 模组压力传感器配置在前面左下方。这个位置上有编号的传感器有 2 个,从模组的前面
看过去位于后侧的一个为压力传感器。
3. 使用精密的一字型螺丝刀,将 MODE 开关变更到 “S1”。
4. 用螺丝刀调节 SET1 开关,使显示值为 -59。
备注 )变更 MODE 开关的设定只能变更显示,调整 SET1 或 SET2 开关后即使开关的值不被显示
出来,调整值也会被变更。
5. 用螺丝刀将 MODE 开关变更到 “S2”。
6. 用螺丝刀调节 SET2 开关,使显示值为 0.0。
7. 为了显示出现在的真空压,将 MODE 开关调回到 “ME”。
备注 )在未显示开关值的状态下变更开关时,在显示开关值后,务必将开关值调整至正确值。
8. 在取下侧面盖罩时,先把盖罩盖上,再把模组插入原来的位置。(请参考「5.1 模组的拉
出/插入」。)
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