NXT2机械手册.pdf - 第425页
QD145-13 7. 消耗品的更换 NXT II 机械手册 401 工具类 工具类名称 备注 六角 T 扳手 对边 5 mm 六角 T 扳手 对边 6 mm 六角 T 扳手 对边 3 mm 转矩扳手 对边 6 mm 转矩扳手 对边 3 mm 十字螺丝刀 No. 2 转矩螺丝刀 No. 2 压缩机 吹气用 硅质润滑油 - 密封胶 242 固定螺丝用 回丝 擦干净和清扫用 防尘口罩 - 手套 - 保护眼镜 - 01M E C - 03 4…
7. 消耗品的更换 QD145-13
400 NXT II 机械手册
7.27 真空泵的吸气阀、排气阀、垫圈等 〈4M-2 基座用泵
(DOP-420SA 用 ) 的时候〉
请将吸气阀、垫圈等的损耗品与真空泵维修保养套件的新部件进行更换。
7.27.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
7.27.2 准备物品
维修套件 （DOP-420SA 用）
No. 部件名称 数量
1盖垫 4
2阀 8
3 S-100 O 型圈 4
4 AS568-117 O 型圈 2
5密封圈 2
6过滤器 4
7 防尘口罩 2
01MEC-0346a
1
2
7
4
5
3
6
QD145-13 7. 消耗品的更换
NXT II 机械手册 401
工具类
工具类名称 备注
六角 T 扳手 对边 5 mm
六角 T 扳手 对边 6 mm
六角 T 扳手 对边 3 mm
转矩扳手 对边 6 mm
转矩扳手 对边 3 mm
十字螺丝刀 No. 2
转矩螺丝刀 No. 2
压缩机 吹气用
硅质润滑油 -
密封胶 242 固定螺丝用
回丝 擦干净和清扫用
防尘口罩 -
手套 -
保护眼镜 -
01MEC-0347a
7. 消耗品的更换 QD145-13
402 NXT II 机械手册
7.27.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 将在基座上右端的模组处于半拉出状态，使主开关 OFF。
2. 等待真空泵的表面温度下降到室温为止。
3. 小心地拆下固定轨道的螺丝（2 根），尽量不要妨碍拆除真空泵弯曲轨道。其次，拆除盖
板(2块)。
4. 拆除真空泵接线箱的盖板，从接线板拆除电源线 （U：红、V：白、W：黑、地线）。
5. 用绝缘胶布等保护固定，以免拆除的配线与机器的其他部位接触。
6. 请从真空泵上拆除连接管。
警告
在进行拆除真空泵操作前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚停止后在泵的
内部很热，有可能造成灼伤。
V
U
W
30MEC-0154