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4. 传感器配置图 QD145-13 60 NXT II 机械手册 4.5 XY 机械手传感器 4.5.1 M3-2 模组 No. 地址 信号名 1 X005 XS 轴联 锁 1 2 X006 XS 轴联 锁 2 3 X007 XS 轴联 锁 3 4 RX00B Y 轴线性马达温度正常 NXTSEN006
QD145-13 4. 传感器配置图
NXT II 机械手册 59
4.4 模组主体传感器
N0. 地址 信号名
1 RX000 元件真空压力确认
2 RX002 空气压力确认
3 RX01D 相邻模组松开确认
4 X01A 模组冷却风扇正常
5 RX017 元件废弃箱落座确认
1;76(16
0㒘
0㒘
4. 传感器配置图 QD145-13
60 NXT II 机械手册
4.5 XY 机械手传感器
4.5.1 M3-2 模组
No. 地址 信号名
1 X005 XS 轴联锁 1
2 X006 XS 轴联锁 2
3 X007 XS 轴联锁 3
4 RX00B Y 轴线性马达温度正常
NXTSEN006
QD145-13 4. 传感器配置图
NXT II 机械手册 61
4.5.2 M6-2 模组
No. 地址 信号名
1 RX00B Y 轴线性马达温度正常
1
01MEC-0257a