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2-40 2 █ 모 니터 : 피듀셜 「기 판 , 블록」, 「로컬」, 「포 인 트 」등의 피 듀셜 인식결 과를 표시 합니다 . 모니터 피듀셜 68 22 3 -N 7- 0 0 • 보정값 X, Y , R 인식 결 과 , 기판데 이 터 입 력값 과의 비교 를 ( + ) , ( - ) 로 표시 합니다 . • 보정값 신장 율 보정 값 X , Y , R 을 이 용해서 계 산한 기 판 신장율이 표시 됩 니…
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█
모니터 : 디스펜스
자동 운전중의 총 디스펜스수 , 보정정보 등이 일람표 형식으로 표시됩니다 .
모니터
디스펜스
68222-N7-00
•
기준면적
마크정보에서 설정한 기준면적이 표시됩니다 .
•
기준 용액량
보정을 실행하기 위한 프리 디스펜스의 용액량이 표시됩니다 . ( 보통 , 기준액량은 20 으로 설정되어 있습니다 .)
•
측정면적
보정이 실행되었을 때의 모든 도트의 평균 면적이 표시됩니다 .
•
보정량
비례타입의 경우 : 보정할 배율이 표시됩니다 .
가산타입의 경우 : 기준면적과 측정면적의 차이가 표시됩니다 .
•
샘플
측정된 샘플수가 표시됩니다 .
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2
█
모니터 : 피듀셜
「기판 , 블록」, 「로컬」, 「포인트」등의 피듀셜 인식결과를 표시합니다 .
모니터
피듀셜
68223-N7-00
•
보정값 X, Y, R
인식결과 , 기판데이터 입력값과의 비교를 (+),(-) 로 표시합니다 .
•
보정값 신장율
보정값 X, Y, R 을 이용해서 계산한 기판 신장율이 표시됩니다 .
•
인식결과
「성공」또는 「미완료」가 표시됩니다 . 실제로 마크인식 동작을 해서 인식이 성공되면 , 「미완료」에서 「성공」으로 변합니
다.
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모니터 : 배드마크
「기판 , 블록」, 「로컬」등의 배드마크 인식결과를 표시합니다 .
모니터
배드마크
68224-N7- 0 0
•
X, Y
기판데이터 입력값 ( 블록 옵셋량 고려 ) 을 표시합니다 .
•
인식결과
실제로 마크를 인식한 결과에 따라서 「OK」또는 「NG」판단을 합니다 .
OK: 배드마크 인식에 실패한 경우 , 작업을 하는 것을 의미합니다 .
NG: 배드마크 인식에 성공한 경우 , 작업을 하지 않는 것을 의미합니다 .