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3-2 3 1 .2 기판클램프 의상태와동 작 확인 1 .2. 1 기판클램프 의상태확인 기 판 의 클 램 프 상 태 에 관 해 서 다음 의 항 목을 확 인 해 주십 시 오 . 1 . 기 판클램 프했 을때 ,기판에덜컹거 림이없 을것 . 2. 기판클램 프했을때 ,기판누름플레 이 트와기판 과 의사 이 에틈새 가없 을것 . 3. 기판클램 프했을때…