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2-35 2 [ 에러삭제 ] 버 튼 「작 업 지 시」에 서 대상이 된 에러 와 작업지 시 , 경 고의 복구 작업이 완료되었 을 때 에 이 버 튼을 눌러 주십시 오 . 이 버튼을 누 르 면 대상의 작업지 시 메시 지 내 용은 복구완 료로 간주되 어 , 자동운 전 을 재 개 할 수 있습 니 다 . 다만 , 미 복구된 작 업 ( 경고 이외 ) 이 남 아 있 을 경 우는 , 자 동운전을 재개 할 수…

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3.9 생산중의 모니
산중운전상태확인[ ] 버튼눌러 주십시 . 「생산」,「전체」,「출력」,「비젼」,
「디스펜」,「피듀셜」,「배드마」탭장중의 정보습니 .
모니터 : 생산
화면은 , 현재 산하장비의 상태를 실시정보로 장아웃 면상으로 표시합니다 .
장비상에 어떠러가 발생했화면을 열면 , 발생한 에러지시 , 경고 등의 상태를 확습니 .
모니터
1
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생산
68218-N 7-0 0
1. 위치 시영역
반송관한 지시 , 경고가 발생 , 표시영스테이터스를 표시합니 . 위험센서반응하
때에 , 에러발생기판이 투명빨간색으로 표시 .
판세기판대위치센서반응하 , 기판세위치치에 있는 판이 반투명 녹
색으 시됩니다 .
2. 헤드영역
현재드의 표시합니 . 발생부자바껴서 표시됩 .
참고
비 전서 에가 발을 때, 전체 영의 배이 파으로 표 .
3. 업지시 영역
업위선택
러와 작업지 , 경고가 발생했때에 클리어가 되지 위치드롭다운 스트 박스 에서 합니 .
롭다운 리스트 스에 , 작업요로 위치표시됩 .
참고
아웃 상의 에가 된 영을 클하여 작업를 선할 수 있. 다 , 에와 작업 , 경고가 발지 않은 영
은 클도 작업를 선할 수 없.
업지시
「작택」에택된 작업위에러클리어않은 에러지시 , 경고으로 대응
메시지로 표시합니 . 복수의 러가 발생한 우는 , 대응중에서 우선 항목부터 서대표시합니 .
좌우 살표 버튼눌러서 다른 지시 메시전환있습 .
[ 에러표시 ] 버튼
튼을 「작지시」에 표시에러작업지 , 고의 상세내 , 대책참조시지 대화창
시됩니다 .
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[ 에러삭제 ]
「작시」에대상이 에러작업지 , 고의 복구작업이 완료되었튼을 눌러 주십시 . 버튼을
대상의 작업지메시용은 복구완료로 간주되 , 자동운있습 .
다만 , 복구된 ( 경고 이외 ) 우는 , 동운전을 재개습니 .
4. 상세내영역
스트에 , 헤드가 일표시됩 .
니터 : 전체
화면은 생산중인 기판의 장수상태를 리얼타임 보로 표시합니 . 생산두면 합니
. 생산판의 전환을 실행하면 정보가 클리 .
모니터
전체
68219-N7-00
산시작
현재생산중의 기판데이환했을 때의 짜와 시간을 표시합니다 .
현재
화면을 표시을때 기계스템시계표시 . 화면이 경되표시 간도 변경됩니다 .
생산수량
현재 생산중인 기판 전환하고 나서의 생산된 장수입 .
사이클
1 장당 도포시간의 균입 . 실장이 완료되이터변경됩니다 . 사이클 타임피듀셜 , 배드마크기판
마크인식시간 , 도포시간이 함됩 . 반송시지시 ( 에러 ,「STOP」버튼에 의한 시간 등 ) 포함되
습니다 .
택타임
1 쇼트도포시간 ( / 기판 ) 입니 .
가동율
장비 동율입 . 하류측 계상태의 영향을 않은 가동율로 , 같은 식으로 산출하습니 .
반적으로 기의 가동율은 40~70% 정도 .
( 스테이누적 실장 +스테이지누적 )/[스테(생산완료시- 셋업완료시)-
스테지의 누대기 ]X100= 가동율 (%)
누적실시간 : 드가 동작합계
누적반송 : 반송 ( 반입 / 반출 ) 합계시간
누적대시간 : 상류 또는 하류의 기계합계
생산완료시 : 다음의 생산판으로 환된 시각
업완료시 : 「START」버튼을 눌러서 운개시
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[ 세트 ] 버튼
생산데터의 관정보리세합니 . 터의 관리정보에 , 표시되현재생산수
량과 현재로더수량 , 예정생수량과 예정언로더 수량함됩 . 리세트를 실행하면 「셋업」화면의 「생산수량
수치 등도 트됩 .
니터 : 출력
「출력」모 , 현재 생산중인 기판데이터상세상황을 파악하위한 화 .
모니터
출력
68220-N7- 0 0
산시작
생산 ( 기판선완료시 ) 표시합니다 . 장수는 으로 0 입니 .
갱신
표시데이터 신시각을 표시합니 . 장수는 현재생산완기판 장수가 표시됩 .
생산종료 예정
생산종예정 시각을 표시합니 . 장수는 「셋업」화면에서 입력예정수량을 나타냅 .
, 정생수량이 되어 있않은 우는 공백으로 표시됩 .
반입 시간 ( / 기판 )
1 장당의 평균 반시간입 .
대기 시간 ( / 기판 , )
장비의 기판반입 대기시간 입니 . 도포중일 우에는 기판이 대기하고 대기 시간이 트되
않습니 . [ 단위전 ] 으로 , 1 기판당 균공급 대기또는 누공급 기시간을 표시할 수 습니 .
생산예정 남은 기판수 ( )
생산예정 수에서 산완료 기판매수를 수치 .
실장 시간 ( / 기판 , / , / )
도포하는 시간입 . 간에는 기판마크 ( 피듀셜 , 배드마크 ), 스펜등이 함되있습 .
[ 단위전 ] 버튼으로 , 1 판당 평균 , 1 블록당 평균 , 1 칩당 평균표시습니 .
에러정지 시간 ( / 기판 , )
기계시간입 . 에러발생[CLEAR] 튼을 누를때 까지간입니 .
, 복구작업이 행해간은 함되지 않습니 . [ 단위전 ] 버튼으로 1 기판당 균에러 정지또는 정지
계시간을 표시할 수 있습니 .
반출 시간 ( / 기판 )
1 장당의 평균 반출시 .