YSD_Users_K.pdf - 第384页

3-10 3 4 .2 Z 축 의청소 • 급유 4.2. 1 Z 축가 이드및볼스 크 류 ,샤 프 트 의청소 • 급유 e 1 헤드를이동 시킵니다 . 1 . 셋 업화면의[ 실 린 지교환 ] 버튼 을누릅니 다 . 2. [ 교환위치이 동 ] 버 튼을누릅니 다 . 3. 「비상정 지 」버 튼을누 르고 ,커버 를오 픈 합니 다. 2 볼 스 크류 와스플 라인샤 프 트를…

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3-9
3
4.1 년
4.1 W 축의청소
•
급유
4.1.1 W 축볼스크류의청소
•
급유
1
컨베이어폭을최대로설정합니다 .
셋업화면의[ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서「최대
폭」을선택해주십시오 .
e
2
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
3
볼스크류부를청소합니다 .
볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이퍼
( 클린룸용 )등으로오래된구리스와더러움을닦
아냅니다 .
57314 -N7-0 0
c
주의
청소작업시에는 ,볼스크류의리드홈부분도깨끗히닦아주
십시오 .또 ,이물질등의발생여부도확인해주십시오 .
4
구리스를도포합니다 .
손에지정구리스 (NSL) 를묻혀서 ,볼스크류의
표면및리드홈부분에균일하게도포해주십시
오.
4.1.2 W 축가이드의청소
•
급유
1
컨베이어폭을최대로설정합니다 .
셋업화면의[ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서「최대
폭」을선택해주십시오 .
e
2
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
3
가이드를청소합니다 .
각축을한쪽으로이동시키고 ,가이드전체를먼
지가나지않는종이와이퍼 ( 클린룸용 )등으로
닦습니다 .
57315-N7-0 0
c
주의
가이드레일의이동홈부분도깨끗히닦아주십시오 .
4
구리스를도포합니다 .
손에지정구리스 (NSL) 를묻혀서 ,볼스크류의
표면및리드홈부분에균일하게도포해주십시
오.
W축 볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
W축 가이드의 청소
Step 3
종이 와이퍼
이동 홈 부
3-10
3
4.2 Z 축의청소
•
급유
4.2.1 Z 축가이드및볼스크류 ,샤프트의청소
•
급유
e
1
헤드를이동시킵니다 .
1. 셋업화면의[ 실린지교환 ] 버튼을누릅니다 .
2. [ 교환위치이동 ] 버튼을누릅니다 .
3.「비상정지」버튼을누르고 ,커버를오픈합니
다.
2
볼스크류와스플라인샤프트를청소
합니다 .
볼스크류
Z 축을내려서볼스크류를종이와이퍼로닦아주
십시오 .
스플라인 샤프트
각헤드의샤프트를종이와이퍼로닦아냅니다 .
57316 - N 7-0 0
c
주의
볼스크류의홈부분도깨끗히닦아주십시오 .
3
구리스를도포합니다 .
볼스크류
손으로지정구리스를볼스크류전체에도포해주
십시오 .
스플라인 샤프트
손으로지정구리스를각헤드의샤프트에얇게
도포해주십시오 .
4
여분의구리스를닦아냅니다 .
손으로헤드를상하로움직여서 ,너트부분에고
여있는구리스를닦아주십시오 .
57317-N7-00
5
가이드의청소
•
급유를실시합니다 .
볼스크류와같은순서로가이드를청소하고 ,구리
스를도포해주십시오 .
57318-N7- 00
Z축의 청소
Step 2
종이 와이퍼
Z축의 구리스 닦기
Step 4
구리스 고임
Z축 가이드의 청소
Step 5
종이 와이퍼
3-11
3
4.3 푸쉬업 (PU) 축의청소
•
급유
푸쉬업 축은, 기판 클램프시에 기판이 휘어지는 것을 방지하는 역할과, 도포 동작시 기판의 처짐을 방지하
는 중요한 축이 됩니다. 정상적으로 기능할 수 있도록 정기적으로 점검과 청소를 실시할 필요가 있습니다.
4.3.1 PU 축볼스크류및볼가이드의청소
•
급유
1
컨베이어폭을최소로설정합니다 .
1. 푸쉬업플레이트상의푸쉬업핀을제거합니
다.
2.「장치」화면의「컨베이어」탭을선택합니다 .
3. [ 컨베이어 ] 폭버튼을눌러서사양의최소폭
을입력하고[OK] 버튼을누릅니다 .
2
푸쉬업유닛을상승시킵니다 .
[ 푸쉬업 ] 버튼을눌러서「1」을입력하고[OK] 버
튼을누릅니다 .
58303-N 7- 00
e
3
장비뒤쪽의커버를탈착합니다 .
「비상정지」버튼을누르고 ,뒤쪽의커버를고정하
고있는나사 (6 개 ) 를십자드라이버로분리해
주십시오 .
57319 -N 7-0 0
c
주의
뒤쪽커버는안전장치등이없습니다 .탈착작업은반드시비
상정시상태에서실시해주십시오 .
4
오래된구리스를닦아냅니다 .
우측그림의볼스크류 (2 군데 ) 와볼가이드 (2 군
데 ) 의오래된구리스를닦기용와이퍼로깨끗하
게닦아주십시오 .
57320-N7- 0 0
5
새로운구리스를도포합니다 .
새로운구리스를손가락에2cm 정도묻혀서 ,볼
스크류의리드및볼가이드에균일하게도포해주
십시오 .
6
푸쉬업유닛을상하로동작시킵니다 .
비상정지를해재하고 ,푸쉬업유닛을수동조작으
로수차례상하로동작시켜주십시오 .
e
7
여분의구리스를제거합니다 .
비상정지버튼을누르고 ,여분의구리스를손가락
으로제거해주십시오 .
8
뒤쪽의커버를원상태로장착합니다 .
Step3 에서탈착한장비뒤쪽의커버를원상태로
장착해주십시오 .
c
주의
뒤쪽커버는반드시장착해주십시오 .
뒤쪽 커버의 분리
Step 3
뒤쪽커버
고정나사
푸쉬업의 상승
Step 1, 2
1
2
PU축 볼스크류의 청소
Step 4
볼가이드(2군데)볼스크류(2군데)