YSD_Users_K.pdf - 第387页

3-13 3 4. 4.2 컨 베이어벨트 의교 환 컨 베 이 어 벨 트가 마 모 되 어 서 교 환 이 필 요 한 경 우는 , 다음 과 같 은 순 서 로 교 환 해 주십 시 오 . e 1 비상 정지버튼 을누 릅니다 . 안전 을위해 ,반드시장비 를비 상정지상태 로해 주 십시오 . 2 벨 트의텐 션을느슨하게합니다 . 1 . 텐션풀 리의위 치를마커펜등 으로마킹합니…

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3
4.4 기판반부의점검
4.4.1 컨베이어벨의점검과청
( , ) . 반송
반송을 . 따라으로 요가 .
, 트의 가루,
가루트가 으므로 , 으로 하실 .
1
컨베이어폭을변경합니다 .
e
1. [ 컨베이어폭 ] 튼을눌러서공구가사
능한폭을입력하고[OK] 튼을누릅니 .
2. 비상정지버튼을누르고 ,커버를오합니 .
2
트의텐션을느슨하게합니다 .
1. 텐션풀리의위치를마커펜등으로마킹합니
다.
2. 육각 (4,5) 로텐셔너볼를풀 ,긴구
멍끝 ( 는방향 )텐셔너를이동시
다.
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3
트를분리합니다 .
풀리와기판가의벨트홈으로부터벨트를
분리해주십시 .
4
트반송면의마모상태를확니다 .
Step3 에서분리한벨트반송면의마를확
해주십시 .
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요점
를교환할필요가있을경우는 ,후술의이어벨의
교환을참조해서교환해주십시 .
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기판가이드부의벨트홈과풀리를
청소합니다 .
트홈과센서검출면의마모가루는청소기등으
로흡입해주십 .컨베어의반송벨용풀
리등도깨끗히청해주십시 .
6
트를원상태로되돌립니다 .
반송벨트의 분리
Step 2-3
육각렌치 (5mm)
마킹
육각렌치 (4mm)텐셔너 벨트
텐션풀리
반송벨트의 확인과 청소
Step 4-5
벨트 홈
반송벨트
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3
4.4.2 베이어벨트의교
트가 우는, 다음주십 .
e
1
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
십시오 .
2
트의텐션을느슨하게합니다 .
1. 텐션풀리의위치를마커펜등으로마킹합니
다.
2. 육각 (4,5) 로텐셔너볼를풀 ,긴구
멍끝 ( 는방향 )텐셔너를이동시
다.
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3
트를분리합니다 .
육각 (3) 로벨트구동용풀리의볼트를풀 ,
샤프트를뺍 .벨트를풀부터분리해서
샤프트와의틈로빼주십시 .
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4
기판클램프ASSY 를분리합니다 .
육각 (3) 로기판클램프ASSY고 (4
) 를풀 ,기판클램프ASSY 를분리해주십
시오 .
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컨베이어로부터벨트를분리합니다 .
6
를청소합니 .
컨베이어프레과기판가이드의틈새를얇은브
러시 ,또는와이퍼로청소해주십시 .
7
새로운벨트를끼웁니다 .
1. 운벨를풀리에걸어서임로끼워둡니
다.
2. 샤프트를풀리에접속하고볼트를체합니다 .
3. 트텐셔를이시켜서텐션을가하면서마
한위치에서볼를체결합니 .
8
기판클램프ASSY 를장착합니다 .
판클램프ASSY 를원위에장착해주십시 .
9
트의상태를확인합니다 .
[ 장치 ]-이어」탭의[ ],[ ] 으로
를회전시켜서동작상를확인해주십 .
컨베이어벨트의회전이불규하거 ,벨트가많
이처져있을경우는 ,텐션풀리의위를조정해
십시오 .
벨트텐션 풀기
Step 2
육각렌치 (5mm)
마킹
육각렌치 (4mm)텐셔너 볼트
텐션 풀리
반송벨트의 분리
Step 3
육각렌치(3mm) 샤프트와 풀리의 틈새
기판 클램프의 분리
Step 4
기판클램프 ASSY 고정볼트
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3
4.5 6 각스플라인의청소
급유
1
컨베이어폭을최대로설정합니다 .
업화의[ 컨베어폭 ] 버튼을눌러서「최대
」을선택해주십 .
e
2
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
십시오 .
3
6 각스플라인부를청소합니다 .
6 각스플라인전체의오래된구스와더러움을
종이와이퍼 ( 클린룸용 )등으로닦아주 .
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4
구리스를도포합니다 .
손에지정구리 (NSL) 를묻혀서 ,볼스크류의
면및리드홈부분에균일하게도포해주십시
오.
6각 스플라인의 청소
Step 3
닦기용 와이퍼